中古 NIKON i12D #293823353 を販売中

NIKON i12Dは、NIKON CORP。 I12Dが製造するウェーハステッパーです。集積回路、液晶、その他のMEMS製品などの半導体デバイスの製造に使用されるハイエンド機器です。これは、信頼性と効率的な操作を維持しながら、優れた性能と精度を提供するように設計されています。NIKON i12Dはハイブリッドステップとリピートパターンステッパーで、長い露出で1つのウエハにパターンをステッチすることができます。低温ランニングプラットフォームを備えた先進的な機器設計と小口座の設置面積を備えており、生産性が向上します。ウエハサイズは、大型パネル用の直径150mm、大型生産用の200mmです。ステッパーはNIKONブランドのカラムタイプスキャナを搭載し、6倍の倍率を実現しています。このシステムは、E-Beam LithographyとDFE Object Measurement技術の両方をサポートしており、正確なパターニングが可能です。ウエハステッパーには、ウエハ上にパターンを正確に配置するための3段オーバーレイアライメントユニットが内蔵されています。また、ウェーハの品質を検証するためのリアルタイムの「スナップショット」も含まれています。機械はまたステップ中に手動介入を取除くことに自動コーナー認識を提供します。スキャン角度は0°、90°、180°の間で変化させることができ、ユーザーは目的のパターンを作成することができます。I12Dは信頼性が高く、99％以上の効率があります。これは、非常に低いエラー率で優れたスループットを提供します。このツールは、高温プロセスでの使用にも適しており、統合されたSmart QAソフトウェアによる柔軟なデータ管理を提供します。このアセットは、ウェーハ位置の自動制御、高速検査、他のニコン/サードパーティ周辺機器の統合などの機能により、さらに強化されています。全体的に、NIKON i12Dは大量生産に適した高度なウェーハステッパーです。それは信頼でき、有効な方法で優秀な性能および精密を提供するように設計されています。様々な用途に適した便利な機能と信頼性の高いモデルを提供します。