中古 NIKON i12D #293814692 を販売中
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NIKON i12Dは、半導体デバイスやその他の複雑なマイクロエレクトロニクス部品の製造に使用される多目的ウェハステッパーです。正確で信頼性の高い結果を提供するように設計されており、高い精度と再現性を備えています。I12Dは、ダイレクトレベルとマルチレベルの両方のリソグラフィープロセスに使用できます。高解像度DMD(デジタルマイクロメーターディスプレイ)、手間のかからない操作のための高度な診断ツールなど、高度なスキャン機能と機能を備えています。NIKON i12Dは、最大フィールドサイズが1。2インチ、光源波長が最大193nmです。また、ステップアンドリピート露光と複雑なオフアクシス露光の両方に便利な自動アライメント装置を備えています。このシステムは、サブミクロンの印刷解像度を達成するように設計されています。i12Dの出力は、オプションのin-situチャックユニットで強化することができます。これにより、オブジェクトを処理中に監視することができます。この機能は、微細なラインパターンやその他の複雑なデザインの製造に特に役立ちます。NIKON i12Dは、ダイレクトドライブステージやインテリジェントステージなど、幅広い独自のアタッチメントステージもサポートしています。これらは、アセンブリプロセス中のヒューマンエラーを低減することにより、全体的なスループットと機械効率を向上させるのに役立ちます。さらに、i12Dには高度なメンテナンスツールもあり、ダウンタイムを最小限に抑え、デバイスの寿命を最大化するのに役立ちます。最大4,000個のレシピを保存するための強力なオンボードデータベースと、簡単で効率的なメンテナンスのための専用レシピトラッキング資産を備えています。これらの機能はすべて、ユーザーが利用できる高度な制御とともに、ニコンi12D研究および産業用途に最適です。これは、高品質のマイクロエレクトロニクス部品をスケールで製造するための信頼性の高い、費用対効果の高いツールです。
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