中古 NIKON i12D #293808647 を販売中

NIKON i12Dは、半導体チップのさまざまな製造プロセスを支援するために特別に設計されたウェーハステッパーです。レンズ機器、ステージ、照明システム、スキャナー制御、およびより高いレベルのユニットで構成されています。レンズマシンは全自動の光学系を搭載しており、様々なレチクルサイズに対応できます。レンズツールは、サブミクロンからミクロンレベルの精度まで、幅広い解像度をサポートします。また、高解像度フォトマスクやレチクルマスクの使用にも対応しています。レンズアセットは、精密なアライメント公差を持つ光学系の高精度かつ正確なアライメントに最適化されています。ステージモデルは、ウェーハの正確な位置決めを確保するために、高精度の自動アライメントが装備されています。対称的なX-Yキャリア、オプションのN軸、および簡単に操作できる電動アライメント装置モジュールで構成されています。これにより、さまざまな製造プロセスのためのウェーハの高精度アライメントが可能になります。照明システムは精密なサンプル照明のための精密な照明源です。様々な照明モードをサポートし、様々な用途に様々な光源を提供することができます。また、最高のフォトマスク品質を提供する自動光源選択機能も備えています。スキャナ制御は、オートフォーカスユニット、オートポジショニングマシン、フィードバックループ制御ツールで構成されています。これにより、スキャンプロセスを正確に制御できます。より高いレベルの資産は、機器全体のパフォーマンスを監視および管理するために必要な制御モデルを提供します。直感的なユーザーインターフェイス、レポートシステム、データロギングユニットで構成されています。全体として、i12Dウェーハステッパーは、精密なアライメント、照明、スキャンプロセスを使用して、高精度の半導体チップを製造するのに役立つように設計されています。オートフォーカス、自動位置決め、フィードバックループ制御システムは、正確で正確な結果を提供し、直感的なユーザーインターフェースを実現します。データロギングとレポートシステムは、包括的なパフォーマンス指標を提供します。