中古 NIKON i12D #293797473 を販売中

NIKON i12Dは、i-lineシリーズのウェーハステッパーです。高精度・高精度なイメージング装置で、小型で繊細な機能を必要とする半導体などの製造に最適です。I12Dは、画像最適化のためのマルチレベルアライメント4軸ステージとNA 0。33です。ステッパーは、単一のスキャン、高精度、重なり合うレンズアレイを使用して、最高品質の生産イメージのために露出フィールドを一緒にステッチします。レンズアレイは低い偏光誤差を持つように設計されており、0。7 μ mまで拡大することができます。ウェハステージはスキャナであり、現在、NIKON i12Dはi-lineシリーズで最高の倍率解像度を提供しています。ステッパーは独自のアルゴリズムを使用して、各露出メッシュ点の位置情報をサブピクセル精度で測定し、ユーザーにより良い測定値を提供します。これにより、パターンの標準メッシュへのより厳密なアライメントが可能になり、自動欠陥解析が可能になります。ステッパーはまた、動作の50 μ mの精度で直径900mmまでのサンプルをロードすることができます高速ローディングと位置決めシステムを持っています。i12Dのもう1つの特徴は、10ms以内にシグナル・ツー・ショット・ノイズ（SSN）を統合できる改良された自動露出ユニットです。これにより、高いウェハサイズでより安定したスループットが得られ、オフセンター露出を低減できます。この機能により、最も困難な回路設計においても、欠陥のない画像生成を改善できます。NIKON i12Dは、フォトマスク生産、LSI生産、フラットパネルディスプレイ（FPD）生産、CMP（化学機械研磨）生産、MEMS生産など、幅広い用途で使用できます。ウェーハステッパーは、生産環境においても非常に信頼性が高く、費用対効果が高いことが証明されています。I12Dは、ユーザーに厳しい公差、高いイメージング品質、高速スループットを提供する優れた精密イメージングマシンです。高品質のマイクロサーキットや製品を確実に生産できるウェーハステッパーを必要とするユーザーに最適なオプションです。