中古 NIKON i12D #293748648 を販売中

NIKON i12Dは、半導体リソグラフィに使用される高性能ウェーハステッパーです。光学性能を最適化し、リソグラフィ露光時に均一な傾斜忠実度を提供するように設計されています。I12Dは、静止ステージと電動ステージ、12ウェイカラム型アライメント装置を組み合わせ、ウェーハの位置決めにおいて最高の精度を提供します。独自の2レベル補正システムにより、レーザー位置のわずかな空間変位を補正し、正確なアライメントを確保します。NIKON i12Dは、0。93の高い数値開口、5nm未満の小さなスパイラルフォーカス収差、10m以上の焦点深度を特徴とμています。これにより、パルス波形と連続波形の両方のリソグラフィーオプションに対して高い精度が保証されます。フォーカスレンズI12D傾斜調整機構で傾斜して歪んだ画像を提供する特殊なイメージングユニットとフォーカシングユニットも装備しています。これにより、ウェーハの照射領域の角度オフセットによるフォーカスバリエーションを補正しながら、多方向のマイクロメートル分解能イメージングが可能になります。NIKON i12Dは、コンパクトなオールインワンパルス照射機を備えており、すべての照射パラメータを正確に制御できます。このツールは、短絡源リソグラフィと高解像度の低電力リソグラフィの両方に最適です。i12Dの主体は、最大の放熱と剛性のために、軽量でありながら堅牢な超高強度アルミニウム合金から構成されています。ボディはまた、動作中に振動から分離された各コンポーネントで、トリプルレベルの構造アーキテクチャを備えています。全体的にNIKON i12Dは、半導体回路パターニング、スタンプリソグラフィ、パターン転送など、高解像度のイメージングとアライメント精度を必要とするアプリケーションに理想的なウェハステッパーです。このアセットは、ノイズと振動レベルを最小限に抑えた優れた性能を提供し、正確な画像配置と品質を保証します。