中古 NIKON i12D #293673209 を販売中

NIKON i12Dは、日本の光学・イメージング会社NIKONが製造しているウェーハステッパーです。それは現代の電子工学の中心である集積回路の破片を製造するのに使用される高度装置です。このウェーハステッパーは、高い精度と高いスループットを実現するように設計されており、プロセスの再現性に優れています。小型で高性能なため、研究、開発、商業生産に最適です。I12Dは、完全なウェーハステッパー精度のための0。1ミクロンの精度を持つ200mmウェーハフィールドを備えています。ウェーハステッパーはアクティブなDLPアライメント機能を備えており、完璧なチップエッジを確保するために、ウェーハチャックの非常に正確な位置決めとアクティブ光学パターン歪み補正を可能にします。NIKON i12Dは、MEMS、 TEG、微細加工などの用途に最適な光学測定システムを内蔵しています。このシステムは、さまざまなアラインメントを使用して、高度なソフトウェアと相互作用し、プロセスの任意のオーバーレイと精度を測定します。測定は記録され、ステッピングパラメータを最適化するために使用されます。これにより完成品の品質が向上します。I12Dには統合された特別な光学系もあり、最先端の光学系を使用してエンドソフマスクナノパッタを検出するために使用されます。これにより、単一のフォトリソグラフィープロセス手順を要求するのに適しています。この光学系は17秒の露光時間も備えており、ナノスケールの特徴を繰り返すことで高いスループットを保証します。安全面では20mTの低圧で走行するi12Dで、クリーンルーム環境での使用に適しています。また、リアルタイムエミッションモニターを備え、接触なしのフォトマスク型チェンジャーを保持します。I12Dは、環境と健康の安全のための最高基準を満たしています。結論として、NIKON i12Dはウェーハ加工のための優れたステッパーです。低圧で高品質と高精度を提供し、アクティブなDLPアライメント、統合された光学測定および特殊光学を統合します。プロセスの再現性と歩留まりを向上させ、高品質と高精度を保証するように設計されています。それは研究、開発および商業生産操作のための完全な選択です。