中古 NIKON i12 #9364674 を販売中

NIKON i12は、高いスループットと精度を必要とする高度なリソグラフィ用途向けに特別に設計された、高精度で高度に自動化されたウェーハステッパーです。アダプティブステージ、マルチレベルフォーカス、Gシールスキャナなどの先進技術を搭載しています。ウエハステッパーは、極端な紫外線（EUV）、浸漬リソグラフィ、レーザー誘発熱画像（LITI）など、幅広いリソグラフィープロセスで使用できるように設計されています。ステッパーは、最大12 「x6」のスキャンフィールドサイズ、焦点の多重深度、および正確な露出とパターン配置レチキュール（PPR）を確保するための高解像度イメージング装置を備えています。ウェーハステッパーには、露出前にウェーハを正確に整列・配置する適応ステージが装備されています。また、Gシール光学スキャナと、正確なパターン配置と検査のための露出監視システムを装備しています。また、ウェーハの動きとフォーカス軸をウェーハとパターン位置に自動的に調整することもできます。NIKON I 12ウェーハステッパーは、複雑なパターン配置のための高度な制御オプションも提供しています。追加の保護および制御ユニットにより、ほこりやその他の地球外粒子がイメージングマシンに侵入するのを防ぎます。これは、精度と解像度を向上させるためのイメージングツールの完全性を維持するのに役立ちます。I12ウェハステッパーには、レンズ認識機能、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）、露出データをすばやく簡単にプレビューできるI 12 Viewerソフトウェアなど、いくつかの面白い機能もあります。これらの機能により、ユーザーは露出前に複雑なパターン形状と密度を視覚化することができます。NIKON i12は大量生産および重要な適用のための高スループットおよび正確さを提供します。また、慣性および環境補償および光学補償機能を備えており、環境や位置の変化を補正します。モジュラー構成は、業界標準のマスクセットおよびレンズパッケージとの互換性を提供し、さまざまなリソグラフィーアプリケーションを使用する際に柔軟性を提供します。これらの機能に加えて、NIKON I 12はオートインデックスやバッチ処理などの高度な自動化機能も備えています。これは、iNspect、 iLitho、 iExposureなどのニコンの高度なリソグラフィーツールによってサポートされています。高度な機能と技術を備えたi12は、高度なリソグラフィ技術に最適なツールです。