中古 NIKON i12 #9285477 を販売中

NIKON i12は、最先端の半導体フォトリソグラフィ用に設計された先進的なウェーハステッパーです。特許取得済みのCalibrated Automationコンポーネントを使用して、材料の無駄を最小限に抑えながら、位置、露出時間、焦点などのすべてのプロセス変数を非常に正確に制御しながら、高スループットを実現します。ウェーハステッパーは、さまざまなデバイス製造およびプロセスアプリケーションに使用でき、すべてが迅速かつ正確に実行されます。NIKON I 12は、非常に滑らかで低振動をサポートする独自のベースフレームを備えています。3軸リニアモータ駆動ステージは、X、 Y、 Zの動きを0。01ミクロンの分解能で提供し、プロセス要件に応じてナノメートルの精度で個別に調整することができます。さらに、ベースフレームには振動絶縁技術が組み込まれており、フォトリソグラフィープロセス全体の高精度を保証します。I12は、高度な光学系と強力な光源の組み合わせを利用して、優れたコントラストを持つ高解像度パターニングを実現しています。調整可能なミラーはウェーハ全体に投影フィールドを配置し、新しいイメージフィルタ装置は光学歪みの影響を最小限に抑えます。ステッパーには、バックサイドイメージマスク、デフォーカスコントロール、フォーカスシフトアライメント、バックプレーン反射率の低下など、複数の露出要件を補償するさまざまなデバイスが装備されています。I 12のエクスポーズドシステムには、最適な生産性を確保するためのいくつかの機能があります。ウェーハレベルのウェーハローダーを搭載し、最大8個のウェーハを同時に素早く簡単にロードできます。このユニットには、モーション制御を備えた高度なコンピュータ化された数値制御マシン（CNC）が装備されており、ツールのパフォーマンスだけでなく、ゾーンとサブゾーンの調整を監視して、資産の潜在的な欠陥を自動的に補償します。さらに、最先端のビジョンモデルは、各ウエハのパターニング前後の欠陥を検査します。全体として、NIKON i12は、半導体フォトリソグラフィ動作に高い信頼性の高いパターニング性能を提供するように設計された先進的なウェーハステッパーです。統合されたCalibrated Automationテクノロジーは、優れた解像度、精度、および制御を保証し、多様な機能により、デバイスコンポーネントの自動、高速生産を保証します。