中古 NIKON i12 #9203809 を販売中

NIKON i12
製造業者
NIKON
モデル
i12
ID: 9203809
Wafer stepper.
NIKON i12は、半導体産業のコスト削減と生産歩留まり向上を目的とした高性能ウエハステッパーです。精度、スピード、柔軟性を向上させる最先端のデザインを備えています。NIKON I 12は2次元ステージで設計されており、高精度なアライメントと広い視野の両方を実現します。また、AOI (Auto-Orientation Inspection)、レンズアライメント、および欠陥のないデバイスを確保するための並列イメージング機能など、さまざまな露光ツールを提供しています。I12は、2048 x 2048マトリックスセンサーを使用して、ウェーハ表面のHDイメージングを提供します。解像度は0。8 μ mから12 μ mの範囲で、これまで以上に詳細で正確な結果を提供します。オンボードの高解像度光学系は、露光範囲全体にわたって高速かつ優れた解像度で最大の性能を提供します。高解像度センサにより、低倍率でパターン歪みを低減し、優れた画質均一性を実現します。I 12は精密なエラストマーのアライメント装置を備えています。これにより、露出を簡単に調整および修正でき、高い精度と再現性を確保できます。また、その場で調整することができるより幅広い露出設定を可能にします。これは、欠陥検査、計測、リソグラフィなどの高度なプロセスに特に役立ちます。NIKON i12は、高精度かつ高精度なマルチドメインイメージングを可能にする高度なフィールドスキャンアプリケーションを搭載しています。これにより、ウェーハ上に複数のパターン化されたレイヤーが存在する場合、最高レベルの精度が保証されます。さまざまな調整可能なパラメータを使用することで、半透明パターンだけでなく、詳細な幾何学的偏差や粒子集団をシミュレートし、検証することができます。NIKON I 12は自動ウェーハ処理システムを採用しており、手動でのアライメントやスループットの向上が不要です。リピート露光、複数のウェーハ、オートフォーカスなど、さまざまな手動および自動機能が利用できます。I12は内部ダークルームも備えており、複数のタイプの基板を提供します。最後に、I 12には直感的でユーザーフレンドリーなコントロールインターフェイスがあります。直感的な設計により、ユーザーはすべてのユニットパラメータを迅速に構成および管理し、生産性を最大限に高めることができます。コントロールマシンには幅広いサポートパッケージが含まれており、ユーザーは使いやすい環境をカスタマイズできます。NIKON i12は、優れた性能と比類のない画質を製造者およびプロセスエンジニアに提供します。NIKON I 12は、先進的な設計と優れた機能により、あらゆる半導体生産ラインのスループットと歩留まりを向上させるのに最適です。
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