中古 NIKON i12 #9168034 を販売中

NIKON i12は、高度な機能と性能を備えたハイエンドの大容量ウェーハステッパーです。半導体、オプトエレクトロニクス、MEMSなどのICやその他の部品の製造に使用できます。NIKON I 12はフルマスクアライメント装置を備えており、ビア、コンタクト、ラインなどの小さな機能を高精度に露出させることができます。さらに、このシステムは2.5-5X削減フィールド能力を誇り、高い生産スループットを可能にします。I12は266mmステッパーで、画像サイズは200mm x 200mmまで、縮小率は0。3〜5Xです。露出タイプは、LEDラミネーション用のLEDフィールドアレイで、レチクルの初期配置なしに解像度を向上させます。このユニットは、いくつかの特許出願中の技術で歪み、汚れ、フォーカスエラーを低減する機能も備えています。I 12には「Deep Screen Array」の略であるDSA技術が搭載されています。これにより、メーカーにとっての約束である最小の機能サイズでの露出が可能になります。また、より良いウェーハ品質と歩留まりを提供します。NIKON i12ウェーハステッパーは、サーマルドリフトの影響を最小限に抑えるデュアルIC露光機により、高性能で高精度なウェーハステッパーです。このツールはまた、電子ステッチを備えており、複数のレチクルの信頼性の高い登録を可能にします。さらに、ウェーハ全体の登録は、高精度マーカー記号解析で行うことができます。NIKON I 12ウェーハステッパーは、露出プロセスの高度化により優れた露出を誇ります。減少ベクトルビーム（RVB）技術は、露出時間を最小限に抑え、露出誤差を低減します。また、低質量、高速ステージ、振動のない構造で露光時間を最小限に抑え、より広い露光範囲のプロセス最適化を可能にします。I12には、高度なイメージング解析により、強化されたイメージング機能も備えています。これには、局所的な暗い露出制御と暗い露出、および重大な寸法オーバーレイ制御が含まれます。イメージングソフトウェアは、潜在的な欠陥を予測し、プロセスドリフトを特定し、優れた画質を提供するために使用することができます。I 12ウェーハステッパーは、メーカーが厳しい納期で納品できる最先端の高精度機能を提供します。このアセットは、究極の効率性と再現可能な結果、ならびに生産のための耐久性と信頼性の自動化を提供します。また、使いやすく、エネルギー効率に優れており、コスト効率の高い操作を提供します。