中古 NIKON i12 #293793326 を販売中

NIKON i12は、さまざまな基板において高精度で高性能なリソグラフィーイメージングを実現するために設計された露出ベースのウェハステッパーです。ICパッケージング、MEMS、高度なパッケージング、バイオセンサー、フォトニックアプリケーションなど、幅広い用途に適しています。NIKON I 12は、ステッピングシャーアライメント装置を備え、高い精度とダイナミックレンジを実現しています。5軸マニピュレータ制御を備えた8インチアライナーモジュール、2。5ミクロンのスポットサイズ、プログラム可能なスキャン領域の6倍の削減、高速スキャンを提供する改良されたサーボスキャナを備えています。さらに、i12は高解像度の画像合成とCINAS （Computer-Integrated Nano-Analytical Systems）互換性を提供します。I 12は、高度なウェハ精度と再現性を兼ね備えた柔軟性と高解像度のイメージングをユーザーに提供します。このシステムは、N-Vision Long Pr処理ユニットと組み合わせると効率的な動作を提供するために構築されています。このマシンは、サーベイモード、平面内および回転アライメント、統合されたオーバーレイ解析機能、ActiveEdgeテクノロジー、および複数のスポット露出を備えています。ActiveEdgeテクノロジーにより、画像処理のアーティファクトを最小限に抑え、ショットサイズとエッジ精度を高速かつ正確に制御できます。また、NIKON i12は、ニコンアドバンスイルミネーションマネジメントツールを採用し、柔軟性とスループットを高めています。露光条件を最適化するための光源（GまたはI線源、KrFまたはArF源）を選択できます。ユーザーフレンドリーなアセットは、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを通じて直感的なオペレータ体験を提供し、簡単なセットアップと操作を可能にします。さらに、ABF-Liteモデルを使用して複数のサイトに直接アライメントを提供します。指定された領域内の複数のウェーハを迅速かつ効率的に処理することができます。この装置のPredictive Overlay Analysisは、テープと焼成前のオーバーレイ結果に関するフィードバックを提供し、テープと焼成の数を減らし、迅速かつ効率的なプロセス追跡を可能にします。結論として、NIKON I 12は、高精度、再現性、柔軟性を備えた高速かつ正確なリソグラフィーイメージングを提供するために設計された高度なウェーハステッパーです。ActiveEdge TechnologyやPredictive Overlay Analysisなどの高度な機能とツールは、ICパッケージング、MEMS、フォトニクスなどのアプリケーションに最適なツールです。