中古 NIKON i12 #293603629 を販売中

NIKON i12は、半導体業界のリソグラフィや精密パターニングに使用される高精度ウェハステッパーです。それはサブミクロンの特徴サイズおよび平らな、細かくパターン化された表面を作り出すことができます。NIKON I 12は、柔らかいフォトマスクと硬いフォトマスクの両方に対応しているため、さまざまな用途に適しています。I12は、ワークプレートにパターンを投影するために使用される強力な光学機器を備えています。このシステムは、アライメントユニット、元のマスクを固定するマスクチェンジャー、および高解像度レンズのセットで構成されています。レンズは、マスクの網膜の細かい部分に光を集中させるように設計されています。また、軸上のアライメントも提供するため、スポットはレチクルグリッドと正確に整列します。I 12はまた、その精度と速度を最大化するように設計されたさまざまな機能を誇っています。例えば、CircleField Correction Machine （CFCS）は、ウェーハステッパーの回転ステージの「ぐらつき」を補償します。MetraGridと呼ばれる特殊なグリッドジェネレータもあり、ユーザーは並外れた精度でパターンを生成することができます。NIKON i12には、直感的で自動化された制御アセットを提供するAdvanced Machine Control （AMC）ツールも含まれています。このモデルは、最大のアライメント精度を達成することができます、加えて、追加機能の範囲；たとえば、マーキングパターンのエラーを自動的に検出して修正したり、最適な露出時間を計算したりできます。NIKON I 12は、最大0。15ミクロンのフォトマスクアライメント精度も提供します。これにより、再現性の高いパターンと厳密な寸法制御が可能になります。また、ステッパーには多軸モータ制御機能が搭載されており、ウェハをナビゲートすることができ、複数の露出ステップが必要な場合に正確なアライメントと登録が可能です。この機能により、i12は複数の露光とマルチレベルのリソグラフィにも適しています。最後に、I 12は長期的な信頼性を提供するように設計されており、さまざまな障害検出および予防保守機能を備えています。また、NIKONの有名なオンラインサポートサービスと包括的なソフトウェアアプリケーションが付属しています。