中古 NIKON i11D #9260431 を販売中

NIKON i11Dは、高速かつ高精度なウェーハ検査と加工を提供する先進的なウェーハステッパーです。このステッパーは半導体およびフォトマスクの製造業の適用のために設計されています。高精度、高解像度、再現性を備えています。NIKON I 11 Dは、高度なウエハ検査・加工が可能です。ステッパーは12インチ（30。5 cm）の対角線のフィールドサイズで、ステッパーはより大きなウェハを扱うことができます。最大キャリッジストロークは900mm （35。4インチ）です。高精度のための最小ステップサイズの0.15µm、および12ビットの色深度の高解像度カメラを備えています。機械にまた急速な基質のローディングおよび荷を下すための信頼できるオートローダーのメカニズムがあります。この機械は、レンズと基板を破片から保護するためにインコラムシャッターを使用しています。シャッターはまた、選択した露出範囲の面積を減らし、ステッパー処理速度を高速化します。I11Dには革新的なフルマスク検査システムがあり、マスクごとに複数のパターンを検査することができます。これにより、1サイクルでさまざまなパターンを正確に検査することができます。I 11 Dには高度なイメージングと解析機能もあります。Windowsベースのパーソナルコンピュータを搭載しており、プログラムカスタマイズや直感的なユーザー操作が可能です。また、3Dおよび高次パターン解析、急性角度マスク認識、欠陥認識と評価、複数露出とイメージング、マスク設計検証などのソフトウェアオプションも用意されています。NIKON i11Dは環境に優しく、非常に効率的です。オゾン層破壊ポテンシャルが低く、CFCフリー構造と低消費電力を備えています。これは運用コストを削減するのに役立ちます。最後に、NIKON I 11 Dは、内蔵の安全インターロックや緊急停止システムなど、さまざまな安全機能を利用しています。全体として、i11Dは高速で高精度なウェーハ検査と処理を提供します。高度なイメージングおよび分析機能と環境効率を提供します。