中古 NIKON i11D #9253274 を販売中

NIKON i11D Wafer Stepperは、フォトリソグラフィ製造用に設計されたNIKONの高解像度イメージング装置およびステッピングシステムの最新モデルです。NIKON I 11 Dは、高速かつ高精度なスキャンステージを採用し、クラス最高の再現性と優れたスループットを実現します。I11Dイメージキャプチャ技術は、精密なイメージングのための複雑なレンズ設計を備えており、半導体ウェーハの製造要件の全範囲にわたるイメージング機能を提供します。このユニットは、360度の視野を備えており、200mmまたは300mmの直径と最大700mmの高さを含むあらゆるサイズのウェーハに最適で、これまで以上に優れたピッチ機能を提供し、優れた速度、精度、および再現性を備えています。I 11 Dには、広い視野と高精度を提供できる最新のステッパー技術も含まれています。そのスキャンステージは、露出フィールドと異なるレイヤーレベル間のスムーズな遷移を確保しながら、超高精度のスキャンと配置のためのパルス幅変調制御を提供することができます。ステッパーは、優れた再現性と広い視野を備えた、毎秒1000フレームの高解像度スキャンレートを備えています。その高度な低分散レンズと光学系は、プロセス全体を通して最適なイメージングを提供します。このマシンはまた、イメージングの精度とスループットをさらに向上させるさまざまなコンポーネントで設計されています。NIKON独自のFrame Over-Exposure （FOE）技術により、各フレームの露出時間を最適化し、精度の高いスキャンを実現します。NIKONのi11Dのすべての部品は高められた操作のために含まれているいろいろなインターフェイスとの品質管理および安全の最高水準に合うように設計されています。NIKON I 11 Dは、高精度の再現性と迅速なターンアラウンドのためにも設計されており、優れたイメージング機能により、さまざまなウェーハおよび生産レベルを迅速に処理することができます。このアセットには、精度と効率を高めるために設計された多種多様な機能が含まれているため、精度と精度を必要とするプロセスに最適です。軽量な構造と効率的な設計により、スペースが限られていたり、生産に移植性が必要な地域への移動性とアクセスが可能です。高速、高精度のスキャン性能、優れたイメージング機能、高度なステッパー技術により、i11Dはあらゆるフォトリソグラフィのニーズに最適です。