中古 NIKON i11D #9159474 を販売中

NIKON i11Dは、半導体製造のフォトリソグラフィ工程で使用されるフルフィールドウェーハステッパーです。マスクサイズとテクニックの広い範囲で高いスループットと安定したアライメント精度を提供できる、費用対効果の高いソリューションとして設計されました。NIKON I 11 Dは、高度なリニアモータ駆動ステージを備え、より正確なアライメントとステージ移動を可能にします。また、12。25 "x 12。25"ベース、11 "x 11"の大型チャックサイズ、1。00"の絞りサイズを誇り、より効率的な設置を実現しています。I11Dは最高の性能および柔軟性の標準を満たすために造られます。世界トップクラスのDMDセンサーとクローズドループサーボを搭載し、マッピング精度を保証します。その超低歪み光学系とアクティブ振動絶縁システムは、最高のウェーハスループットでも整合性のとれた画像を提供します。I 11 Dは、最大0。05〜0。2 μ mのオーバーレイ再現性もサポートします。NIKON i11Dは高度な操作とメンテナンス機能で設計されています。ループププレーバック付きの大型LCDパネルを内蔵しているため、チェックウェーハを見つけやすく、再現性のある結果を確認できます。ハードウェアアシストされた高解像度スキャンプレビューも備えており、欠陥の確認に使用できます。さらに、オートフォーカス（AF）機能により、画質がさらに向上します。また、NIKON I 11 Dには高度なデータ管理機があり、お客様が画像データを分析し、生産工程でパラメータを調整できるようになっています。このツールはまた、JPC独自のモデルベース戦略開発をサポートし、全体的な歩留まりパフォーマンスをさらに向上させます。さらに、i11Dには、パターン認識とスケーリング、多色パターン解析、シミュルマトリックスデータアクセス、および自動調整可能な露出パラメータなど、さまざまなインテリジェントなアライメント機能が含まれています。これらの機能はすべて、セットアップ時間とトラブルシューティングを短縮するだけでなく、一貫性のある再現性のある結果を保証するのに役立ちます。さらに、アセットに内蔵されているアライメントログにより、オペレータは信頼性の高いパフォーマンスのためにパターンや印刷を時間をかけて追跡することができます。最後に、I 11 Dには高度な安全機能と内蔵の冗長性が装備されています。このモデルには、デュアルステージのモーション保護と防振装置が装備されています。また、自動ビームシャッターを使用して、目の安全性を保証し、不正アクセスを防ぐための識別メカニズムを確保します。結論として、NIKON i11Dは、フォトリソグラフィーニーズに優れた性能と柔軟性を提供するフルフィールドウェーハステッパーです。高度な機能と自動化された安全機能により、高いスループット、より正確なアライメント、再現性を実現します。また、高度な運用・メンテナンス機能を搭載しており、ウェーハのスポットチェック、データ管理、パラメータ調整が容易に行え、信頼性の高いパフォーマンスを実現しています。