中古 NIKON i11D #9118194 を販売中

NIKON i11Dは、半導体基板に電子回路パターンを照射する高性能・高精度デバイスです。高度な光学系、低照度、高解像度のイメージングを使用して、単一のウエハ上に幅広いデバイスを正確にパターン化するフルフィールドステッパーです。一般的な回路処理に使用されますが、最も一般的には、高度な半導体デバイスやMEMS回路の複雑な製造およびプロトタイピングに使用されます。NIKON I 11 Dは、金属模様のある素子であるフォトマスクを用いて、ウェーハ基板上の回路パターンを定義します。マスクにレーザー光を照射し、反射光を消磁して基板に照射します。このプロセスは、完全に形成されたウェーハを作成するために最大16回繰り返されます。ステッパーは、12 μ U以下のサイズの高度な回路パターンを生成することができます。I11Dは、ユーザーが基板を最大限に活用できる効率的なツールです。このデバイスは、高度な5 ピースSMIF （Standard Mechanical Interface Format）ハードウェアと高解像度の光学システムで構築されています。ステッパーには独自の「スポットプリント」技術が搭載されており、ダイサイズを最大化し、クリティカルな寸法変動を低減します。ステッパーはまた、製造工程でチップ収率を最大化するために照明の均一性で設計されています。I 11 Dには、CATS SE2、 NIKON独自のイメージングソフトウェアなど、ユーザーフレンドリーなインターフェイスでステッパーを簡単に制御できるさまざまなイメージングソフトウェアが含まれています。CATS SE2には、カスタマイズ可能なフィーチャーセット、表示ツール、分析ツールがあり、プロジェクトのパラメータを正確に調整できます。NIKON i11Dは、さまざまなフォトリソグラフィ用途で優れた性能と歩留まりを実現することができます。全体的なシステムは、高品質のイメージングシステムを提供し、プロトタイピングまたは中小規模の生産に適しています。NIKON I 11 Dは生産サイクルの鍵であり、信頼性と再現性の高いフォトリソグラフィープロセスをユーザーに提供します。