中古 NIKON i11D #9094100 を販売中

NIKON i11Dウェーハステッパーは、半導体業界の厳しいニーズに応える高精度・高解像度のリソグラフィ機です。主に半導体チップの製造に使用され、非常に小さな機能を備えています。NIKON I 11 Dウェーハステッパーは、最先端の二軸精密ステージを駆動し、最大6ミクロンから数ミクロンまでの特長を発揮します。統合された歪みのない光学系は、収差を最小限に抑えて最高の画質を実現します。これにより、メーカーは非常に高い解像度で最先端のチップを作成することができます。このウェーハステッパーは、高度な半導体やMEMSデバイスの製造など、ハイエンドのリソグラフィ用途向けに設計されています。それに3つの半自動の露出分野、4つの別の露出および20の副露出があります。これにより、比類のない精度と柔軟性を備えた複雑な構造の製造が可能になります。I11Dウェーハステッパーも高度なオートメーションで設計されています。自動CPUコントローラは、8 cmの視野を使用してウェーハアライメントを容易にするために使用されます。ステッパーは、加工後のチップ間の隙間を自動的に測定することができます。I 11 Dはまた、高精度と制御の高度な露光プロセスの正確なシミュレーションを可能にする洗練されたソフトウェアパッケージを備えています。ソフトウェアは、最適なパフォーマンスを確保するために、各ウェーハのアライメントパラメータを自動的に最適化するように設計されています。この機械には、自動化された線量測定システムを含む、多くの自動化されたプロセス制御機能が装備されています。これは、チップごとに適切な露出量が使用されていることを確認するのに役立ちます。NIKON i11Dは、操作とメンテナンスが簡単です。自動化されたメンテナンスプログラムは、高水準の一般的なケアと安定性を提供するのに役立ちます。強力なテクニカルサポートチームは、トラブルシューティングの支援と処理のアドバイスを提供します。全体として、NIKON I 11 Dウェハステッパーは、ハイエンドのリソグラフィ用途に最適です。高精度で自動化された機能満載で、優れた信頼性の高い結果を生み出すことが保証されています。