中古 NIKON i11D #293805260 を販売中

NIKON i11Dは、高度な半導体デバイスの機能をステッピングし、解決するために設計された高度なウェーハステッパーです。NIKON I 11 Dウェハステッパーは、光学部品、機械部品、電子部品の高度な機能を組み合わせることで、幅広いウエハサイズとプロセスアプリケーションに対応できます。i11Dウェーハステッパーの機械設計は、X/Yテーブルを備えた1軸モータ駆動を特徴とし、ウェーハ表面の正確な位置決めを可能にし、最適な露出を実現します。1軸はマイクロステッピングモータによって駆動され、コントローラと組み合わせた抵抗モーターエンコーダはX/Yテーブルの最大6nm分解能を可能にします。ウェーハステージは業界標準で、総旅行距離は320mm x 100mmです。I 11 Dウェハステッパーは、スパッタ成膜、熱酸化、パターン伝達など、幅広いプロセス能力を提供します。2つの4軸モーションシステムを使用して、パターンが基板に正確に転送されるように設計されています。1つ目の運動軸はX/Yテーブルに取り付けられ、マイクロステッピングモータによって駆動され、2つ目の軸はチャンバーユニットに取り付けられ、スピンドルを駆動します。この組み合わせにより、最大ワーキングエリアは4。0mm×40。0mmになります。NIKON i11Dウェーハステッパーの光学機器は、高解像度イメージング用に設計されています。CCDカメラは、高解像度イメージング用に設計されており、7。5 nmの解像度を提供します。また、UVレーザーなどの様々な画像強化システムと組み合わせることで、画像処理能力をさらに向上させることができます。また、NIKON I 11 Dウェーハステッパーには、一度に最大100個のウェーハを保持できる真空ステージが搭載されています。I11Dウェーハステッパーには、機械オペレータ、エンジニア、技術者が簡単にナビゲートできる直感的なユーザーインターフェイスが含まれています。このマシンはリアルタイムのグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を提供しており、迅速かつ正確なプロセス設定と操作を可能にします。さらに、このツールは、プロセスレシピを保存して再現する機能を提供します。全体として、I 11 Dウェハステッパーは、幅広いプロセス機能を提供する半導体ファブの先進的な資産です。高度な機械部品、光学部品、電子部品は、正確なウエハハンドリングとイメージングを提供し、直感的なユーザーインターフェースは効率的な操作を保証します。特徴の組合せはそれを製造工業のための非常に望ましい装置にします。