中古 NIKON i11D #293797472 を販売中

NIKON i11Dは、株式会社ニコンが製造する多層高解像度ウェーハステッパーです。半導体業界のマイクロチップの高精度リソグラフィ処理用に設計されており、利用可能な最先端のステッパーの1つです。高いアライメント精度、優れた露出精度、および優れたオーバーレイ特性を提供し、最も複雑な構造の正確な生産を可能にします。NIKON I 11 Dは、精密なリソグラフィ再生とマイクロチップの最適な製造を可能にする0。1マイクロメートルの最大解像度を備えています。微細なライン/スペース機能を0。11 µmまで、3D構造を0。25 µmまでサポートします。紫外線（UV）から深紫外線（DUV）まで幅広い波長の露光を可能にします。微細な機能を備えた高度なアライメントカメラシステムは、2 µmの小さな特徴を検出し、その自動リソグラフィ同期ユニットは、パターン化されたレイヤーごとに最高の精度を保証します。I11Dは350mm x 350mmの大きなステージを持ち、直径300mmまでの大きなウェーハを加工することができます。また、パターニング工程での滑らかさを高める専用ウェハハンドリングマシンを搭載しています。これにより、1つのプロセスで複数の露出を実装することができ、ウェーハの処理時間とコストの両方を節約できます。さらに、I 11 Dには基板作製のための特殊なクリーニングツールと、基板パターンの検査と監視のための高精度な顕微鏡があります。この検査および監視機能により、各製造結果の最適化が保証されます。また、異なる層の厚さのフォーカスレベルを変更し、最高品質のパターニングを確保するための独自の自動調整アセットも含まれています。全体として、NIKON i11Dは、高度なマイクロチップ製造プロセスに信頼性の高いパフォーマンスを提供する強力な次世代ウェーハステッパーです。高解像度、広い露光波長範囲、強力なハンドリングおよびクリーニングシステム、および精密な検査機能により、優れたリソグラフィ結果を達成するための優れた選択肢です。