中古 NIKON i11D #293724818 を販売中
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NIKON i11D Wafer Stepperは、高精度・高収率の半導体デバイスを製造するために設計された最先端の組込み機器です。NIKON I 11 Dは、ウエハーの正確な位置決めと位置合わせが可能な5軸10kWモータシステムを採用しています。高精度な非球面レンズにより、各ウエハにおいて高い精度と均一性を実現しています。I11Dには、高度なウェーハアライメントソフトウェアプログラムが含まれており、優れたウェーハアライメント精度と再現可能なアライメントプロセスを提供します。このソフトウェアは、イメージングデバイスの正確なオーバーレイとアライメントを可能にするウェーハ表面の細部を検出および測定することができます。また、高解像度のレーザースキャニングツールを備えており、軸外方向でも優れたオーバーレイ精度を提供します。I 11 Dはまた、イメージングユニットの精密かつ再現性の高いアライメントを可能にする高精度の5軸モータドライバを備えています。NIKON i11Dは、比類のない感度、均一性、および画像コントラストを提供する高度な光学機器を搭載しています。このデザインは、最小ピクセルサイズでもバックグラウンドノイズと画像歪みの低レベルを提供します。特に浅い分野での高解像度イメージングに不可欠な微細構造を提供することができます。NIKON I 11 Dは、優れた非均一制御と広範囲の露出能力を提供する堅牢なリソグラフィースタイルの絞りも備えています。これにより、幅広い露光設定でリソグラフィ精度とスムーズな動作を実現できます。I11Dは、さまざまなレチクルサイズとタイプの柔軟な操作、およびオーバーレイ精度と再現性のための高精度レチクルホルダーを提供します。I 11 D Wafer Stepperは、柔軟でオープンなプラットフォーム設計により、既存のマスクおよび検査システムとの高いユーザーフレンドリー性と互換性を提供します。このアセットは、位相シフト、光学スキャン、ウェーハステッパー操作など、さまざまなタイプの画像処理および画像処理に適したさまざまな構成を備えています。さらに、ウェーハの迅速かつ正確な搬送と取り扱いを可能にし、他のシステムやプロセスに容易に統合できます。全体的に、NIKON i11Dは、軽量で費用対効果の高い設計で優れた精度、速度、再現性を提供する高度で高度な洗練されたウェーハステッパーです。高精度・高収量の半導体デバイスの製造に適しており、半導体業界の様々な用途に最適なソリューションです。
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