中古 NIKON i11D #293627556 を販売中

NIKON i11Dは、最高の精度、精度、スループットで半導体ウェーハ加工を処理するために設計されたデジタルチップステッパーです。NIKON I 11 Dは、ウエハの歪みやフットプリントを最小限に抑えながらパフォーマンスを最大限に引き出す先進的なデザインを採用しています。そのデジタルマスクイメージング技術は、複雑で高精度な形状を再現し、優れたウエハCD精度と正確なフォーカスと再現性を保証します。I11Dステッパーは、大きなオーバーレイステージを備えた高性能の非対称スキャン装置と統合されており、お客様ごとに幅広いジョブ固有の構成オプションを備えています。このシングルプレートシステムは、電動ステージ、内部エレベーター、ズーム光学、フラットパネルディスプレイ、直感的なタッチスクリーンコントローラを含む高度な統合をユーザーに提供します。このユニットは、高精度の測定のためのレチクルや高分散スキャナなど、さまざまなマスクパターンやオーバーレイステージと互換性があります。I 11 Dはまた、外部汚染から光学機器を保護するための中央シールドガス射出コントローラ、リアルタイム欠陥検査機能、偶数シールドカバレッジ、統合された環境監視など、汚染のリスクを低減する高度な安全機能を備えています。ウェーハプローメカニズムは、ウェーハを基板に効果的に密閉し、腐食のリスクを低減します。また、高いスループットとプロセス歩留まりを確保するために、線量スキャン、インダイのローカライゼーション、ステージツーステージマッチング、バッチ・ツー・バッチ・マッチングなど、一連のプロセス制御機能をi11Dしています。NIKON I 11 Dは、半導体ウェーハの製造において最高レベルの信頼性、精度、速度を実現するように設計されています。ニコンの特許取得済みアーキテクチャは、光学性能、精度、スループットを向上させ、高速走行時のウェーハ欠陥を最小限に抑えます。ステッパーは0。08mmの薄さのウェーハを加工することができ、歪みを最小限に抑えて最大150mmの直径のウェーハに対応できます。生産性を最大限に高めるため、I11Dには高度なジョブハンドリング自動化およびエラー回復システムが装備されています。また、精度とスループットの間に合理的なトレードオフを提供し、特定の顧客ニーズに合わせてスケーリングすることができます。ステッパーの使いやすいタッチスクリーンコントローラは、スムーズな操作と他の機器とのシームレスな通信を保証します。正確で信頼性の高いウェーハステッピングソリューションを提供することにより、I 11 Dはチップ加工ニーズに最適です。その高性能機能と高度な安全機能は、最適なウェーハ製造結果を達成するのに役立ち、高速かつ効率的なバッチ生産をもたらします。