中古 NIKON i11C #9205853 を販売中

NIKON i11Cウェハステッパーは、高度な集積回路ウェハの効率的な生産のために設計された自動写真リソグラフィ装置です。これは、複雑なマイクロデバイスの高度な生産のための革新的なソリューションです。ニコンI11C高精度スキャンステージと最新の分析技術を組み合わせることで、優れた性能とコスト削減を実現します。この価格競争力のある自動写真システムは、多くの高度な機能を誇っています。NIKON i11Cウェーハステッパーは、立体スキャン技術を活用し、リソグラフィーマスクと基板ウェハを正確に整列させます。ウェーハステッパーは、マスクとウェーハの高度な光学的および機械的アライメントを可能にする自動ステージ制御ユニットにより、優れた結果を達成します。これにより、ステッパー本体にマスクを正確に登録することができ、ターンアラウンド時間の短縮とコストの削減が可能になります。ウェーハステッパーI11C、ストレス測定とセンシングシステムの包括的なスイートも備えています。高度なひずみゲージマシンは、長期ひずみ、熱クリープ、および温度の急激な変化によって引き起こされる応力を検出および監視できます。最先端のリニアエンコーダと回転エンコーダは、基板ウェーハとリソグラフィーマスクの相対位置を1ミクロン以上の精度で測定します。この機能により、基板表面の微妙な変化を迅速に検出することが可能になり、ずれなく高解像度パターンをウェーハに正確に転送することができます。NIKON i11Cウェーハステッパーは、ハイエンドの光学ツールを使用してパターンをウェーハに転送します。このアセットは、10メガピクセルのCCDセンサーを内蔵し、0。25ミクロンの解像度で画像をキャプチャします。また、CCDセンサーはリング照明モデルを備えており、高いスループットレートで回路パターンの正確なプロファイルをキャプチャすることができます。統合されたスペクトルイメージング装置は、ウェーハ表面のパターンの形状と信号を分析することにより、パターン認識精度をさらに向上させます。また、ウェーハステッパーI11C、フォトリソグラフィープロセスの精度と再現性を向上させる自動アライメントシステムを備えています。この自動化されたユニットは、2カメラのデュアルビュープロジェクションマシンを使用して、マスクを基板表面に正確に整列させます。高度なビジョンツールは、効果的にすべてのスキャンを検査し、パターンが正確に転送されることを確認することができます。自動化されたアライメント・アセットは、手作業の労力を削減し、時間の短縮とコスト削減を可能にします。NIKON i11Cウェーハステッパーは、高度な集積回路ウェーハの高精度生産のための強力で費用対効果の高いソリューションです。高度な自動化および制御システム、優れた画像取得、堅牢な応力およびひずみセンサーにより、i11Cは生産性と歩留まりの向上によりコスト削減を実現します。