中古 NIKON i11C #293664633 を販売中

NIKON i11Cは、半導体製造で一般的に使用される高精度ウェーハステッパーです。ニコンレギュラスシリーズのウェーハステッパーの一部であり、デバイス加工精度、オーバーレイ精度、コスト効率に優れた性能を提供します。I11Cは、高解像度の画像を持つスキャンレスカメラ、広範囲の被写界範囲、およびダイナミックオーバーレイサイバーオプティクスを含む高度なイメージングシステムを備えています。これにより、さまざまな基板や材料の最適なアライメントが保証されます。また、ウェハステッパーは、複数のステッパランにわたって一貫した精度を維持しながら露光時間を短縮する高速CCDマトリックス露光システムを備えています。このオールインワンアプローチにより、追加の機械や外部機器が不要になります。NIKON i11Cは、ステッチ技術により、優れた解像度と正確なオーバーレイ精度を提供し、特定のウエハ上でのオーバーラップ露光を可能にします。ステッチステップはまた、ステッチマスクと手動アライメントステップの必要性を排除します。さらに、ニコンレギュラス指向検出技術を採用し、正確なパターンマッチングとオーバーレイ精度を実現しています。これらの機能を組み合わせることで、現在利用可能なすべてのウェーハステッパーで最高の解像度、パフォーマンス、精度を実現します。I11Cは6自由度の傾き軸を持ち、複雑なステッチや露出ミッションを精密に実行することができます。傾斜軸は、3D加工作業に必要な追加の制御と洗練を提供します。さらに、ファインピッチ登録機能により、困難な幾何学的要件にも容易に対応できます。ウェハステッパーには、照射ユニットとしてカラムが2倍になり、1つの基板上で複雑な3D加工を行うことができます。また、より少ないマスクと最適化されたイメージング時間を可能にするステップ露出機能も備えています。また、NIKON i11Cは、デバイス製造に必要な工程数を削減し、サイクルタイムを短縮し、コストを削減することができます。規制機能に加えて、i11Cの高度な自動化により、ダウンタイムとセットアップ時間も短縮されます。その連続処理機能により、デバイスの製造が最小限の中断で完了します。ウェーハステッパーの高性能アルゴリズムにより、ユーザーはリアルタイムでステータスを追跡でき、プロアクティブな問題解決が可能です。NIKON i11Cは、半導体製造のための卓越した機械であり、精密なデバイス処理、優れたオーバーレイ精度、さまざまな基板や材料のコスト効率を可能にします。高度なイメージングとオートメーション機能により、最適な生産結果が得られます。