中古 NIKON i11C #293600659 を販売中

NIKON i11Cウェーハステッパーは、効率的かつ正確な半導体製造を可能にする、ウェーハステッパーのNIKONラインの最新版です。新しい高出力プロジェクションレンズであるi-LIGHT Lens™を搭載した最初のモデルで、広い数値絞りを備えたクリアで高解像度のリソグラフィを提供します。i11Cの主な構成要素は、2つの反転円筒鏡を組み合わせたi-LIGHT Lens™です。これにより、0。325の広い数値絞りと65nmの無垢分解能を実現することができます。このプロジェクションレンズは、高速露出で広いレジストの厚さを効率的にスキャンすることができます。i11シリーズは、最適化されたウェーハ処理機能で設計されています。これには、標準的な半導体ウェーハだけでなく、超薄型ウェーハ、Metal-on-Insulator （MOI）ウェーハなども効率よく取り扱うことができます。並列処理と高度なオートフォーカス技術により、正確で高スループットイメージングが可能です。i11シリーズには多数の精密技術が組み込まれており、最適なウェーハアライメントとウェーハフラット化を実現しています。最新のHARES （High Aspect Ratio Exposure System）は、露出面積の拡大と多様性の拡大を利用して、ウェーハを凹凸面やエッジに迅速かつ正確に整列させます。ウェーハステッパーは、高度なプロセス制御と品質保証に不可欠な情報も記録します。ステージ位置、レンズ変位、オーバーレイなどの条件に関するデータを追跡し、後で解析するために保存します。これにより、パターンの精度と再現性が高く、高度な半導体製造の高い要求に応えることがi11Cます。効率的な開発と運用を可能にするために、i11Cには包括的なソフトウェアが装備されています。これには、さまざまなプロセス設計ツールとユーティリティが含まれます。さらに、ネットワーキング機能も含まれています。これらの機能により、他のNIKONシステムとの通信が可能になり、ユーザーは他の生産ツールと柔軟に連携できるようになります。全体的に、NIKON i11Cは、従来のウェーハステッパーよりも制御と精度を向上させる強力で汎用性の高いツールです。接触開口部やステッププロセスのエッチングなど、困難なリソグラフィー作業に最適です。高性能プロジェクションレンズと最適化されたウェーハ処理能力を活用し、半導体製造をサポートするために必要な効率と精度を提供します。