中古 NIKON i11 #9296413 を販売中

NIKON i11は、光学・光学技術の世界をリードするNIKONが製造したウェーハステッパーです。NIKON I 11ウェーハステッパーは、5軸アライメント技術を駆使し、半導体ウェーハ上にフォトレジストを正確に配置してパターン化する高効率で高精度な装置です。特殊なハイテク用途向けにナノメートルスケールのウェーハを作成する必要がある方に最適です。独自の5軸ポストアライメントシステムにより、i11は比類のない精度でフォトレジストパターンを印刷できます。このユニットは、ウェーハステッパーがアプリケーション処理中に光学系を調整して、パターンとウェーハ上のターゲット間の任意のバリエーションを補正することができます。これにより、他のウェーハステッピングソリューションよりもはるかに高い精度が得られ、最終製品が最高の構造整合性を持ち、最大の性能を発揮することができます。I 11は、革新的な2ビーム露光機など、さまざまな機能を備えており、直径150mmまでのウエハに複雑なフォトレジストパターンを迅速に配置することができます。さらに、このツールは、ビーム角を切り替えることなく複数の露出モードを印刷したり、面倒なリターゲティングを行うこともできます。NIKON i11は、アプリケーションパターンを正確に記録し、ターゲットからのわずかな偏差でも検出できる高速画像キャプチャアセットも備えています。これは、両面フォトレジストや等しくないコーティングパターンを持つウェーハなどの困難な構造を持つウェーハに印刷する場合に特に役立ちます。また、NIKON I 11には、医療機器メーカーのニーズに対応する機能も含まれています。原材料入力を受け入れ、高い精度で基板に供給することができます。また、レーザーによる変位測定（LBDM）も可能で、印刷前にフォトレジストパターンの正確な位置を特定することができ、医療機器メーカーは、パターンの精度が常に高いことを保証することができます。この最先端のウェーハステッパーは、便利な操作のためにも構築されています。高性能な200Wレーザーにより、フォトレジストパターンを素早く印刷し、品質を損なうことなく仕上げることができます。さらに、i11を再構成して、処理の汎用性を高めるためにアップグレードすることもできます。これにより、メーカーはウェーハ加工技術の進歩に追いつくことができ、I 11は優れた投資となります。