中古 NIKON i11 #9069358 を販売中

NIKON i11は、半導体業界のリソグラフィに使用される二段スキャンウェハステッパーです。高度なパターニングソリューション、トータルマネジメントシステム、高速スループットなどの高度な機能により、高いスループット、正確性、安定性を実現するように設計されています。最小限の歪みと高い画像コントラストで広い視野を持ち、正確なイメージングで素早い露光時間を提供します。NIKON I 11は、高精度で再現性の高いステップ&リピートシステムを搭載しています。任意のウェーハ環境において、正確なシングルチップ設定でウェーハのアライメントと投与量を自動化できます。また、最初から最後まで正確な配置精度で、マイクロビア、トレンチ、またはその他の機能のパターン作成を支援します。ステッパーには、優れた画質を確保するために最先端のイメージセンサーが装備されています。via、 trench、 contact hole、 micro featuresなど、あらゆるタイプのイメージングのパターン配置精度を最適化するために、高度な光学技術とイメージング技術を使用しています。イメージセンサーはまた、最高のイメージング精度を提供するために、ほこりや静電気抵抗力があります。I11は使いやすさとアクセシビリティのために設計されています。ユーザーがマウスを数回クリックするだけで、システムのすべての操作を制御して表示できるユニークなユーザーインターフェイスが装備されています。このデバイスには直感的なマニュアルフォーカスモードも搭載されており、リソグラフィープロセスを細かく制御できます。I 11は、その操作を支援するための高度な機能の数が付属しています。絞り補正、特徴評価、ライニングなど様々なリソグラフィ技術を搭載し、精度向上を図っています。また、ノンリニア最適化された最適化と適応型のスマートスキャンにより、より高速なパターン作成とスループットの向上を実現します。さらに、広い温度範囲や高湿度など、極めて過酷な環境でも動作可能です。全体的に、NIKON i11は高度な機能で高精度と安定性を提供するように設計された高度な二段スキャンウェーハステッパーです。この機械は使いやすく、あらゆるタイプの仕事のためにリソグラフィーのプロセスをより簡単そしてより精密にさせる多数の特徴が装備されています。