中古 NIKON i11 #293763323 を販売中

NIKON i11ウェーハステッパーは、シリコンウェーハなどの基板に微細な特徴を正確に複製するために設計されたハイエンドの産業自動投影リソグラフィーシステムです。NIKON I 11は、高解像度で広い視野CCDカメラとともに、5倍のズーム光学低減装置を搭載したハイエンドステッパーを誇ります。I11は、上下のスティグマティックアライメントエッジとともに、正確なパターン配置とオーバーレイを可能にする真空ウェーハステージを利用しています。I 11には、コンピュータ制御の顕微鏡スライドを備えた高度なリソグラフィ制御システムが含まれており、ウェーハ上のパターン位置を常に高精度で測定します。NIKON i11には、さまざまな照明オプションとさまざまな光学部品があり、柔軟で正確なリソグラフィ機能を提供します。NIKON I 11は直感的でインテリジェントなユーザーインターフェースで設計されており、オペレーターの仕事をより簡単かつ迅速にするように設計されています。さまざまなユーザーは、タッチスクリーンインターフェイスを使用して、プロセス全体で詳細なリソグラフィーパラメータを簡単に調整または変更できます。I11には、小型機能、高解像度レチクル、高NAレンズのオプションもあり、スループットが向上します。I 11は、1時間あたり最大7700の部品のスループットで、さまざまなフォトマスクのサイズと機能を製造するように設計されています。これにより、特に半導体ウェーハの製造において、さまざまな産業用途に適しています。NIKON i11の高解像度イメージング技術により、パターンが正確に複製され、0。4〜1.0µmまでの機能配置精度が保証されています。NIKON I 11は、高度な自己調整焦点と一定の粒子最適化を備えた集中ビームイメージング技術を使用して、最小の特徴のパターンコントラストを高めます。さらに、i11にはパターンマッチング技術とプログラムエディタが内蔵されており、複雑な光の露出と反復可能な結果を可能にします。全体的に、I 11は比類のない精度と精度を提供するハイエンドウェーハステッパーであり、さまざまな産業用途に最適です。