中古 NIKON i11 #293606913 を販売中

NIKON i11ウェーハステッパーは、半導体ウェーハ加工用途向けに設計された全自動リソグラフィ装置です。最高のスループットを提供しますが、最大解像度と画像忠実度を備えています。この機械は、幅広い半導体デバイス製造プロセスに最適です。NIKON I 11システムは、高度なフォトマスク製造プロセスのための強力で信頼性の高いリソグラフィーソリューションです。I11ウェーハステッパーには、高度な22mmフラットフィールドと4Kコンピューター制御の偏向ユニットが搭載されています。高精度なフォトリソグラフィ加工を実現し、大きなプロセスウィンドウで高い再現性を実現します。ステッパーには、0。8の大きな数値開口とわずか4。5 msのシャッタータイムを備えた高解像度の光学ツールがあります。ステッパーには完全に自動化された洗浄アセットが装備されており、レチクルの清潔さを確保し、粒子生成を最小限に抑えます。また、低温ビューチェッカーを備えており、レチクル内の微細パターンを確認することができます。この機能により、ユーザーはマスクプロセスの開始前にエラーや汚染を特定し、最大の歩留まりと品質を得ることができます。I 11ウェーハステッパーには、ウェーハステージ、レチクルステージ、チャンバーステージの3段階があります。ウェハステージは、角度エンコーダとサーボモータを使用してステッパーのスキャン領域を正確に制御します。また、標準的な加熱チャック装置とレジストプドルヒーターを備えており、均一な温度とプロセス制御を保証します。レチクルステージには、マスクを保持し、露出中にウエハチャックに完全に揃えておくためのエアベアリングスライドが装備されています。チャンバーステージには、シャッター、MERシールド、光学窓、ディフューザー、Hgランプハウジングなどの多数のコンポーネントが含まれています。この段階では、ウェーハ露出プロセス中に正確で一貫した反復可能なパターンが保証されます。NIKON i11ウエハステッパーには、フロントパネルから簡単にアクセスできるユーザーフレンドリーなソフトウェアインターフェースも備えています。このインターフェイスを使用すると、ユーザーは1つの中央の場所から生産プロセスを簡単に設定、制御、監視できます。ステッパーは、特定のパターンを繰り返すために、露出パラメータなどのレシピ情報を保存することもできます。全体として、NIKON I 11ウェーハステッパーは、大量のウェーハ処理アプリケーションに最適です。それは高分解能の光学システム、自動化されたクリーニングユニット、強力なたわみおよびスキャン機能、ユーザーフレンドリーなソフトウェアインターフェイスおよびフルオートのプロセス制御を提供します。これらの機能により、ユーザーは信頼性の高い高品質の半導体デバイスを迅速かつ効率的に製造することができます。