中古 NIKON i10C #9300131 を販売中

NIKON i10Cは、マイクロリソグラフィ用途に使用される高性能ウェーハステッパーです。ステッパーは、0。07 µ（ミクロン）以下のステップアライメント精度で、高精度かつ高精度なパターンを生成することができます。NIKON I 10 Cは、パルスレーザー、高度な光学系、高解像度マスクなどの幅広いイメージングツールと露光技術を提供し、より柔軟性と最適化された画質を提供します。I10Cは、0。03 µ精度の位置決めシステムと最大1。30 m/s2のステージ速度を利用した高速・高精度なNanoStepTMステップ装置を採用し、ウェーハを素早く動かすことができます。これにより、露出前にウェーハを迅速かつ正確に配置することができ、効率的で再現性の高いパターニングが可能になります。I 10 Cはニコン独自のスーパーHR（高解像度）レンズを搭載し、イメージコントラストの向上、広視野、高解像度イメージングを実現し、優れたパターニングを実現しています。NIKON i10Cの40xレンズは最大1。6までの数値開口を調整可能で、42xレンズは最大2。2までの数値開口を調整可能で、高解像度イメージングを必要とする用途に適しています。NIKON I 10 Cは、高度なパルスレーザー露光やEX露光などの露光技術を提供しています。EX Exposureは、ターゲットジェネレータを使用して露光時間を短縮し、スループットを大幅に向上させながら画質を向上させます。I10Cは、減衰器、中性密度フィルタ、偏光モード変換器、イメージングシステムなどの高度な光学系も備えており、さらにパターニング品質を向上させています。I 10 Cは、ウェーハボートと自動ウェーハ交換機能を備えた完全自動ウェーハハンドリングユニットを備えています。このマシンは、200mm未満の小さな基板から300mm以上の大きな基板まで、さまざまなサイズのさまざまな種類のウェーハを処理できます。また、シリコン、ガラス、プラスチックなど幅広い材料の加工が可能です。NIKON i10Cには、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスとプロセスレシピ設定のデータベースを備えた包括的なNIKON SEECmaticTM制御ツールが搭載されており、簡単かつ効率的な操作が可能です。このアセットは、オンラインプロセス制御とリモートメンテナンス機能も提供しており、ユーザーは稼働時間と生産性を最大化できます。最終的に、モデルは品質保証のための国際的な安全基準に従って厳密な点検およびテストを受けます。