中古 NIKON i10C #293814170 を販売中

NIKON i10Cは、株式会社ニコンが開発した高度なウェーハステッパーです。NIKON I 10 Cは、プロジェクションレンズベースの光学機器を備え、優れた画像解像度と均一性を提供します。リソグラフィには高出力LEDを使用し、特殊なウエハ基板に対応しているため、特殊な光学素子が不要です。この機械は、半導体デバイスの製造を含む、幅広い精密マイクロリソグラフィ用途に適しています。I10Cのイメージングシステムは、最大0。5マイクロメートルの分解能の露出を提供し、シャドウマスク、位相シフト、バイナリ、連続スキャンなどの幅広い露出およびマスク加工技術をサポートします。このイメージングユニットは、0。25マイクロメートルの細い線、0。2マイクロメートルの小さな空白など、最も複雑なパターンを生成することもできます。I 10 Cには、生産性と精度を高める追加機能も装備されています。電動ウェーハステージは、正確な露出のための精密な動きを提供し、そのオートフォーカス機能は、迅速なウェーハアライメントに使用することができます。高精度のベベルアルゴリズムにより、画像歪みのない高品質のイメージングを実現します。さらに、非常に精度の高い液体チャンバーは、優れた平面内の均一性と動的安定性を提供し、より高い歩留まり率をもたらします。さらに、NIKON i10C独自のウェーハコーディネーションマシンは、ウェーハの歪みを最小限に抑えながら、迅速かつ正確なウェーハ露出を実現するように設計されています。このツールは、ソフトウェア制御スキャンと画像回転とスキャン反復によるガラス基板の動きの両方を提供します。NIKON I 10 Cは、幅広いウエハサイズや形状に対して高効率な露光を実現します。全体として、i10Cは最先端のマイクロリソグラフィーアプリケーションをサポートするように設計された強力なウェーハステッパーです。高精度のイメージング資産、電動ウェーハステージ、オートフォーカス機能、優れた機内均一性と動的安定性、効率的な露光調整モデルは、I 10 CをNIKON最高のマシンの1つにする機能の一部です。