中古 NIKON i10 #293807128 を販売中

NIKON i10は、半導体の製造に使用される最先端のウェーハステッパーです。1時間あたり最大450ウェーハの高いスループットを持ち、スキャン露出アライメントで動作します。最大1,120X倍の光学アライメント倍率を持つリソグラフィ光源を使用し、わずか0。3ミクロンまでの小さな機能を正確に処理することができます。NIKON I 10の革新的なデザインは、精密なアライメントのために1つのモジュラーモジュールにすべてを備えています。調節可能な光源モジュールを組み込むことで、常に変化する半導体産業に対応するために必要な柔軟性が得られます。また、さまざまなウエハサイズのパターニングと統合されたプロセスモニタリング機能も可能です。I10は、互いに切り替えることができる2つの独立したレチクルを備えたユニークなデザインを提供し、広範囲の露出を可能にします。これは、複雑なパターンでも均一なパターンを生成する統合された低k1およびk2補正によって助けられます。これにより、マシンが停止することなく、レチクル間を切り替えることができるため、生産性が向上します。I 10は、最適な条件を維持し、汚染に耐える真空チャンバー設計など、多くの堅牢な安全機能の恩恵を受けています。環境安全システムは光源室を保護し、オペレータを常に安全に保ちます。最後に、効率的な反射防止コーティングにより、信頼性の高い性能と高い歩留まりを保証します。全体として、NIKON i10は高いスループットと精度を実現するよう設計されており、最も要求の厳しい半導体アプリケーションに最適です。モジュール設計、調節可能な光源、強力な安全機能により、半導体の生産に信頼性と費用対効果の高い性能を提供します。