中古 NIKON G7 #293793324 を販売中

NIKON G7は、半導体デバイスの製造に使用されるハイエンド光学リソグラフィーステッパーです。高度なリソグラフィ光学、精度アライメント、精密XYステージ、高速ウェーハ搬送装置を備えています。NIKON G 7には、6MピクセルCCD、強力な100W水銀ランプ、および0。7の高い数値開口（NA）が装備されています。このシステムは、より細かい機能をキャプチャし、最も要求の厳しい半導体生産ウェーハ構成で最高のスループットを提供できます。G7には、露出とアライメントの両方に焦点を当てたビームを使用するビーム分割モードと、露出のみを使用するシングルビームモードの2つの露出モードがあります。どちらのモードも、露出量が少なく生産性が高いというユニークな露出戦略を採用しています。G 7は、すべての軸で非常に高精度を提供するユニークなXYステージデザインを備えています。高速でも2。5 µmの正確なアライメント精度が可能です。さらに、視野のエッジは丸く連続しており、画質が向上し、ウェーハカバレッジが向上します。スキャンユニットは広いスキャンエリアを備えており、ウェーハ全体で最大のフィールドのオーバーラップと均一な均一性を可能にします。スキャン動作は、3つの高度なサブスキャンシステムによってさらに改善されます。2つは3つの軸でステージを駆動し、1つはプロファイリングを行います。NIKON G7のウェハトランスポートマシンは、高速ウェハクランプとアンクランプ、高速ウェハトランスファーを備えています。すべてのドライブはリニアで、振動、ノイズ、摩耗を排除します。ドライブモータは最大8つのモーターフェーズを提供し、最大500mm/sの速度を確保できます。NIKON G 7には、サードパーティのソフトウェアおよび制御システムと簡単に統合および操作できる本格的なジョブ実行ツールが搭載されています。このアセットは、タッチスクリーン操作と、クリティカルな寸法やプロセスウィンドウ測定などのルーチンテストの統合にも対応しています。全体的に、G7は高度な半導体デバイス製造のための高精度とスループットを提供する強力なウェーハステッパーです。独特な特徴によって、それはあらゆる生産ラインのための大きい選択です。