中古 NIKON G6D #9144948 を販売中

NIKON G6Dは、半導体デバイスの製造を支援するために使用されるウェーハステッパーです。主にフォトリソグラフィに使用され、さまざまなサイズのコンタクトとノンコンタクトウェーハの両方で作業できます。G6Dには8インチの列があり、最大マッピング面積は1000 x 1000 mmです。0.54µm分解能を備えたこのシステムは、1時間あたり60ウェハ（6インチウェハ）の速度で正確なアライメントを行うことができます。ウェハ移動ステージの高精度パターン精度と連続スキャンにより、MEMS、オプトエレクトロニクス、その他の半導体アプリケーションなどの最先端の製造プロセスに適しています。高解像度ステッパーは、450 nmの可視範囲光とコヒーレント可視放射（CVR）で動作します。NIKON G6Dは、多機能フィールド固有の操作パネル（FOP）と英数字キーパッドを備えており、さまざまな機能に簡単かつ柔軟にアクセスできます。このパネルは、ジオメトリと光学の設定、ウェハローディング/アンロード、初期キャリブレーション、フォーカス設定、ショットタイム設定、輪郭スキャン、および一般的なメンテナンスを制御するのにも役立ちます。G6Dの最小限の設置面積により、クリーンルーム環境に適しており、床面積が限られています。NIKON G6Dは、シームレスなスタートアップ機能とWindowsベースのタッチパネルインターフェイスを備えています。この使いやすい機能により、セットアップ時間が短縮され、オペレータは任意の調整を迅速に行うことができます。G6Dはメンテナンスフリーで信頼性が高く、サービスの中断を最小限に抑える必要があります。自己診断と予防メンテナンスがシステムに組み込まれており、一貫性のある長期納品を保証します。全体的に、NIKON G6Dは、ウェーハステッピングアプリケーションに最適で、高解像度のイメージング、簡単な操作、最小のサービス中断を提供します。