中古 NIKON G6 #293793323 を販売中

NIKON G6は、株式会社ニコンインスツルメンツが製造する高精度ウエハステッパーです。高いスループットと低線幅で幅広いウェーハサイズとダイコンフィギュレーションを正確にイメージングできます。NIKON G 6は、半導体業界の要求に応えるように設計されており、優れた直線性と画質指標を誇っています。G6は、2つのスキャンステージ、ウェーハステージ、検出ステージで構成される4軸装置です。スキャン段階は、制御システムによって決定された検出器に対するウェーハの正確な位置決めを担当します。ウェーハステージは、エアベアリングユニットとファインピッチリードスクリューによって駆動される真空密閉プラットフォームで構成されています。検出ステージは、セルラーイメージングデバイスをウェハステージに合わせたダイレクトドライブステッピングモータによって駆動されます。G 6は、直径8インチまでのウェーハのイメージングが可能です。このマシンは、XY解像度が0。01 µm、 Z解像度が0。001 µmで、Zウェハツーディテクタのクリアランスは5mmです。また、NIKON G6は全球平坦度が0。5 µmで、高精度で高精度な画像処理に適しています。NIKON G 6には、垂直フーリエ変換レンズやデュアルラインCCDセンサーなど、豊富な光学系が搭載されています。G6には、精密アライメントとイメージングに最適な高度な機能とオプションのコンポーネントも多数あります。これらの機能には、オートコリメーションツール、コンピュータ化された1D露出制御機能、プログラム可能なレーザーアライメントおよび顕微鏡機能が含まれます。その他の高度な機能には、統合された高速、電動XYステージ、画像アライメント用のレジスタマーキング、反復可能で正確なスキャンのためのフィデューシャルマークなどがあります。また、G 6は直径8インチまでのウェーハ処理が可能であり、ウェーハと検出器間の重要なアライメントのための結合アセットも備えています。露光時間やシャッタースピードを制御し、ジッタや画像の歪みを低減する機能も備えています。最後に、NIKON G6は遠隔制御および監視のためのイーサネット通信インターフェイスを提供します。NIKON G 6は、優れた画質指標、精密な動きの直線性、幅広いサポート機能を提供するため、半導体業界にとって理想的なウェーハステッパーです。さまざまなコンポーネントと高度な機能により、G6は優れたスループットで正確で高品質のウェーハ画像を作成することができます。