中古 NIKON G4D #9144947 を販売中

NIKON G4Dは、半導体業界で使用されるリソグラフィーツールの一種であるウェーハステッパーです。高精度・高精度な半導体製造が可能です。これは、高度な光学機器だけでなく、精密X-Yアライメント機能、および最先端のコンピュータ制御を備えています。高度な光学部品と高精度なアライメントにより、G4Dは非常に高解像度の構造とX軸とY軸の両方で0。2ミクロンの間隔の小さい特徴を生成することができます。NIKON G4Dの光学システムには、高い開口数スキャン数値開口（SNAP）ユニットと12mmフィールドエミッタアレイ（FEA）アレイが含まれています。SNAPマシンは、可動ミラーアセンブリ、正確なフォーカシングダイアフラム、高感度画像アレイで構成されています。その先進的な光学系は、幅広くカスタマイズ可能な機能をカバーする鮮明で詳細な画像を生成することができ、パターンマスクを半導体ウェーハに効果的に書き込むことができます。G4Dの最先端のコンピュータコントロールは、同期ステップアンドリピートコントローラを使用して、各マスクが露出前に適切に配置されていることを確認します。このツールは、複雑なマルチレベルスキャンを操作してさまざまな結果を生成することもでき、汎用性の高いツールになります。さらに、露出プロセスを監視および調整するための内部品質管理資産（QCS）も備えています。NIKON G4Dはまた、リソグラフィの柔軟性を可能にする幅広い機能を備えています。高速な輪郭プログラミングモデルにより、パターニングが容易に行えるほか、レーザーや電子ビームなどの露光源も用意されています。また、内蔵のキャリブレーション、温度およびフィルム制御設定の範囲も提供します。全体として、G4Dは高解像度の半導体デバイスを製造するための非常に信頼性の高い精密なリソグラフィーツールです。最先端の光学機器、高精度なアライメント機能、最先端のコンピューター制御により、最先端の生産要件に適しています。