中古 NIKON FX 701 / FX 901 #293661855 を販売中

NIKON FX 701およびFX 901ウェーハステッパーは、半導体ウェーハ上のサブミクロンおよびナノスケールの特徴を正確にパターン化するように設計された先進的な光学リソグラフィーシステムです。このシステムは、優れた光学性能を提供し、高度なプロセスモニタリング技術を備えています。NIKON FX 701およびFX 901システムは、2つの別々の検査および製造（または「プロセス」）ステップを採用しています。まず、光学投影システムは、市場のパターンをウェーハにイメージするために、非常に詳細なステッピングレンズを使用しています。レンズアセンブリには、極端に高い温度安定性を含むいくつかの特徴があり、これはリソグラフィ用途で非常に重要です。2番目のステップは、光レーザー照明を使用して、指定された領域のみを露出してウェーハのサブミクロンの特徴を正確にパターン化する製造プロセスです。FX 701およびFX 901システムは、6インチのスキャン範囲と長いステージ移動により、非常に高精度で優れた画像品質を提供します。この優れた画像解像度により、ニコンウェハステッパーは、高度なナノスケールのデバイス製造のための高精度なパターンを作成することができます。NIKON FX 701およびFX 901ステッパーは、高度に詳細なサブミクロンパターンを作成するだけでなく、オンザフライのモニタリングも提供し、現場でのプロセス調整を可能にします。この高度なプロセスモニタリングにより、NIKONウェハステッパーは今日の要求の厳しい半導体製造アプリケーションにとって信頼性が高く効率的なツールとなります。FX 701およびFX 901ウェーハステッパーには、ウェーハスループットと精度を向上させる特許取得機能も含まれています。登録機能は、ウェーハを正確にスキャンすることにより、パンニング、複数のアライメント、パターン補正など、いくつかのタスクを自動化します。これにより、プロセスの一貫性と精度がさらに向上します。全体として、NIKON FX 701およびFX 901ウェハステッパーは、半導体ウェハの精密ナノスケール加工用に設計された先進的なリソグラフィーシステムです。FX 701およびFX 901システムは、非常に精密なステッピングレンズ、特殊なレーザー照明技術、高度なプロセス監視システムを使用して、非常に詳細なサブミクロンパターンを作成します。さらに、このシステムには、ウェーハスループットと精度を向上させる特許取得済みの登録機能が含まれています。これらの機能を組み合わせることで、NIKON FX 701とFX 901ウェハステッパーは、今日の高度なナノテクノロジーのアプリケーションにとって効果的で信頼性の高いツールとなります。