中古 NIKON FX-66S #9387891 を販売中

NIKON FX-66Sは、NIKONが開発した高度な露光光学技術と光学・機械制御技術を駆使し、最高水準のトータルスループットを実現するステッパータイプのフォトリソグラフィーツールです。具体的にFX-66Sは、自律的なパターンアライメントとオーバーレイ登録を可能にする完全に自動化されたステージシステムを備えています。スループットを向上させ、より高い歩留まりを達成します。また、特許取得済みの光学エンジンを使用して、最大0.5µm解像度と広い被写界深度の高解像度画像を生成します。NIKON FX-66Sシステムは、6度バイナリレベルと50グレービットレベルを含む幅広いレベルのパターンを生成します。さらに、FX-66Sは高精度のクローズループウェハステージを使用して、ハイエンドリソグラフィに必要な精度と安定性の両方を提供し、最小レベルシフトを生成します。また、高度なパターン最適化機能を提供し、サイクルタイムと光学歪みの影響を軽減します。パターン分解能と精度を高めるために、NIKON FX-66S PC-Control TTLオプションを搭載することで、露光面と周辺部の均一性を高めることができます。さらに、FX-66Sには強力なSIPPミラーオプティマイザが含まれています。これにより、重要な機能の精度が向上し、高度に最適化された新しいAdvanced StepおよびRepeat機能が搭載されています。これにより、高品質なパターンのレイヤーが可能になり、最終的には印刷時間の短縮と生産品質の向上に役立ちます。