中古 NIKON FX-601F #9412239 を販売中

NIKON FX-601Fウェーハステッパーは、製造工程で使用される高度で高精度なイメージングツールです。薄膜トランジスタ、薄膜オプトエレクトロニクス部品、ICの高精度リソグラフィと高収率の生産に最適化されています。NIKON FX 601Fは、最大1。2ミクロンの解像度で、小型から大面積の画像を作成することができます。画像光学の物理的な視野は128mm正方形であり、画像分野の面積は200mm正方形である。センシング装置は、システム制御コンピュータによって駆動される高精細4CCDラインスキャンカメラです。この光学系は、広い被写界深度を提供するように設計されており、異なる基板と様々なレジストや材料で使用することができます。ステッパーは1時間に最大100個のウェハを高速で動作させることができ、ハイスループット製造に適しています。カメラの自動アライメント、オートフォーカス、ウエハの向きの自動調整など、高精度なイメージングを実現するさまざまな機能を備えています。ステッパーは、一般的な大気および非大気処理技術と互換性があり、複雑な地形を持つ基板上で一貫した画像を生成することができます。ステッパーは、露出時間、レチクルのサイズと位置、露出間隔を制御することができます。高精細度のモニターとユーザーフレンドリーなグラフィックユーザーインターフェイス（GUI）を備えており、マシンのプログラミングと操作を容易にします。このツールは、内蔵の安全ライトカーテン、意図しない露出を防ぐためのインターロックなどの安全機能を備えています。FX-601Fは、優れた価格性能比を持つ効率的な資産であり、可能な限り高い精度と精度を維持しながら、生産能力を高めたい人に最適です。これは、高品質の薄膜トランジスタ、薄膜オプトエレクトロニクス部品、およびICの迅速な生産を可能にする、高度なリソグラフィ用途にとって貴重なツールです。