中古 NIKON FX-601F #9398729 を販売中
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NIKON FX-601Fは、高度なリソグラフィープロセスを可能にするように設計された最先端のウェーハステッパーです。高精度な半導体デバイスの共同イメージングや製造に最適なメカニズムを提供します。NIKON FX 601Fは、高度な技術を駆使し、ハイスループットと信頼性の高い動作で最適な機内性能を実現します。それは例外的なステップおよび繰り返しの正確さを含む>=3 µmライン/スペースの最も高い決断の正確さを提供します。ステッパーは、伝統的なリソグラフィーベースのレジスト、バイナリおよび高貴な層の条件を含む多数の材料を処理することができます。さらに、直径8〜200mmのウェーハサイズに対応できるため、精度と高スループットの両方を必要とするアプリケーションに最適です。FX-601Fの主な特徴の1つは、高度に統合されたマルチパターニングテクノロジー（MPT）により、高度なリソグラフィープロセスが可能になります。この技術は、マスクのコストを削減し、建設性を向上させ、より信頼性の高い正確な結果を提供するのに役立ちます。さらに、統合された光学機器は、高い数の開口部で高画質を可能にし、位相シフトと乱視効果を低減します。FX 601Fは、信頼性の高い動作と効率的なウェーハ加工を実現するために、高精度の光学スキャナと3D投影システムを搭載しています。独立したレンズシフトユニットにより、ウェーハやパターンサイズに関係なく最適なスキャンパラメータと高速ステップ操作が可能です。また、ステッパーはプリアライメント精度の高いレンズで設計されており、大型基板へのストレスフリーで高精度な投影が可能です。このデバイスには、簡単な操作と優れた再現性を実現するオートフォーカス機が内蔵されています。全体として、NIKON FX-601Fは高度な機能を備えた洗練されたウェーハステッパーで、機内性能と最大スループットを備えた高精度リソグラフィを実現します。NIKON FX 601Fは、MPTと高精度の部品を内蔵しており、プロフェッショナルな半導体製造およびリソグラフィープロセスに最適です。
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