中古 NIKON FX-601F #9241806 を販売中

NIKON FX-601Fは、株式会社ニコンが設計・開発したウェーハステッピングマシンです。主に半導体プロセス開発・製造用のリソグラフィーシステムに使用されています。幅広いステッピングパターンの収集が可能で、直径300mmまでのウェハサイズの加工が可能です。それはいろいろなフォトマスクの製造業区域およびプロセスのために適しています。NIKON FX 601Fウェハステッパーには、システムに提供される入力画像を処理するデジタル画像処理装置が装備されています。このユニットは、ウェーハ上の正確なパターン複製のために、圧縮、作物、マスク、カットなどのリソグラフィープロセスを適用します。入力パターンは3チャンネルの光電センサによって検出され、バイナリパターンデータに変換されます。データは増幅、平滑化、フィルタリングにさらされ、最終的にウェーハに印刷されます。FX-601Fウェーハステッパーは、改良されたリニアエンコーダとブロードキャストサーボドライブモータにより、正確で高速な印刷を提供します。ライン/スペースパターン、パルス電子パターン、重複パターン、接触穴パターンなど、様々なパターンを生成することができます。広い加工面積は211 x 211 mmで、アドレス解像度は0。2 μ mです。印刷されたパターンの精度と均一性は、ウェーハの表面平坦度の精度とステップ速度に依存します。FX 601Fウェハステッパーには、マスクされたパターンを保護するフィルム保護機が装備されています。このツールは、外力によるフィルムの破損を検出し、パターンへの損傷を避けるために印刷を停止します。また、印刷されたパターンの品質を確保するために、高感度オートフォーカスアセットも装備されています。このマシンには、ウェーハ処理およびフォトマスク製造用のすべてのプログラムを格納するレシピデータベースが内蔵されています。ニコンFX-601Fウェーハステッパーは、簡単な操作とメンテナンスのために設計されています。洗練されたドッキングステーションを備えており、ウェハローディングとアンロード作業を簡素化します。グラフィカルな操作メニューを備えた人間工学に基づいて設計されたユーザーインターフェイスパネルにより、効率的な操作のための機械パラメータを簡単に設定できます。NIKON FX 601Fウェハステッパーは、様々なパターン形状を高精度に加工することができます。フォトマスク製造や半導体加工に最適な機械です。メンテナンスや生産コストの効率化が容易です。この機械の助けによって、高収量フォトマスクの製造は達成することができます。