中古 NIKON FX-601F #293793272 を販売中

NIKON FX-601Fウェーハステッパーは、半導体MEMS （Micro Electro-Mechanical Systems）、ディスプレイ、その他の集積回路の製造を支援するために設計されたツールです。NIKON FX 601Fは、精密機械として、ウェーハアライメントおよびフォトリソグラフィックウェーハ製造プロセスにおける厳しい結果を達成するための貴重なオプションを提供します。その中核には、FX-601Fには高度なニコンステップとスキャンステージが装備されています。このステージは、制御された正確なステップアンドリピート露光を可能にするように設計されています。Step and Scanステージは、ウェーハ上の構造物の高解像度イメージングを提供するCCDベースのイメージング機器にリンクされています。また、独自に制御されたz軸マネージャを使用して、露出パラメータを高精度に制御します。さらに、FX 601Fには、統合されたリソグラフィ光源、光学オーバーレイ測定システム、多数のウェハハンドリングツールやアクセサリ、強力なコントローラユニットなど、いくつかの重要な機能が装備されています。光源は、ユーザーにさまざまな波長範囲で作業する柔軟性を提供し、プロセスの最適化と露光時間の最小化を可能にします。光学オーバーレイ測定機は、フォトマスクをミクロンの精度でウェーハに正確に合わせるために必要な精度と速度を提供します。ウェーハアライメントプレートなどのウェーハハンドリングツールは、ウェーハの正確なロードとアンロードを可能にし、ウェーハシュートは汚染を最小限に抑えます。コントローラツールは、同期自動化を可能にし、再現可能なプロセスと品質の生産を可能にします。全体として、NIKON FX-601F Wafer Stepperは、集積回路やその他の半導体およびMEMSコンポーネントを正確に製造するために設計された不可欠なツールです。高精度のStepおよびScanステージ、光源、オーバーレイ測定アセット、各種ウェハハンドリングツール、高度な自動化および制御システムを備えており、あらゆる製造作業に貴重な付加価値を提供します。