中古 NIKON FX-601 #293587155 を販売中
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NIKON FX-601は、工具試作品を高精度・高精度に加工できる高性能ウエハステッパーです。最大50mm×50mmの広いステージ面積、0。15ミクロンの優れた解像度、ユーザーが設定・制御できる幅広いプロセスシーケンスを備えています。このウェーハステッパーは、安定性を向上させる構造アルミニウムフレームと、サンプルのより良く正確なアライメントのための油圧リフトテーブルを備えた、信頼性の高いものです。NIKON FX601は使いやすいタッチスクリーンインターフェイスで設計されています。照明やウエハハンドリング、ステップとリピート、アライメントとフォーカス、露出パラメータなど、さまざまな設定にアクセスできます。タッチスクリーンは、データ入力、データ追跡、レシピ調整、データ管理など、プロセスに関連する特定の機能に直接アクセスすることもできます。さらに、ニコン独自のソフトウェアスイートにアクセスして、ツール、レシピ、その他のプロセスを管理できます。FX 601は、チャックごとに最大8つのデータフィールドを持つ高速、フルフィールド、ステップ、リピートプロセスを備えており、最大4096のパターンステップを最高精度で実現できます。また、レチクル、マスク、ウェーハなどのデータにアクセスして保存することもできます。さらに、密閉されたコンピュータとマウントを備えたウェーハステッパーの機密版も提供しています。FX601により、モーションコントロールと複数のヘッドレイアウトが向上し、デバイススループットも向上します。この機能により、デバイスは大量のサンプルを迅速かつ正確に処理できます。さらに、その高精度、ナノメートルレベルの解像度は、複雑なプロトタイプツールを使用するときに使用するのに最適なツールです。このデバイスは、シリコン、石英、ポリマーなどのさまざまな基板でも使用できます。NIKON FX 601は、高度な技術と信頼性の向上により、半導体、エレクトロニクス、ライフサイエンス業界の多くの用途に最適です。幅広い機能とユーザーフレンドリーなインターフェイスにより、FX-601はウェーハステッパーの業界リーダーと考えられています。
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