中古 NIKON FX 501D #9412549 を販売中

NIKON FX 501Dは、ウェーハなどのフラットデバイスを製造するための大判ステッピング露光機です。溶融シリカ、石英、単結晶シリコン、アルミニウムなど、さまざまな材料から高品質のダイとデバイス露出を一貫して生成できる独自のスキャン技術を搭載しています。NIKON FX-501Dには、メカニズム本体と光学系の2つの主要部品があります。本体にはステッピングモーター、インライン露光装置、幅広い動作と速度を可能にする駆動システムが搭載されています。このモータは、一連のギアによって駆動され、光学系の位置を制御するリニアアクチュエータにリンクされています。光学部は、高出力レンズユニットとCCDアレイカメラで構成されています。光学系は、材料と露出制御パラメータに応じて調整することができる適切な露出設定を使用して露出プロセスを開始することができます。FX 501Dは、高精度ダイパターンの開発をサポートするプログラム可能なウェーハステッパーを搭載しています。ステップモータの露出設定、温度、パワーを制御することで露出プロセスを自動化します。ステッパーはパターンの位置およびライン幅の高精度そして再現性を保障します。FX-501Dは、すべての露出設定で+/-2 umの露出精度を提供するように設計されています。また、広い視野と高解像度を備えています。これにより、機械は細かい細部と複雑な微細構造を生成することができます。また、さまざまなアプリケーション要件のニーズを満たすために、多様な露出能力を保証します。NIKON FX 501Dには、最適な結果を得るために露出設定とモータ速度を調整するインテリジェントコントロールマシンが装備されています。制御ツールは、さまざまな材料やプロセスのニーズに合わせて露出プロファイルを調整することができます。さらに、露光プロセスの安定性に影響を与える可能性のあるあらゆる異常に対する包括的な保護を提供します。NIKON FX-501Dは、露光プロセスに制御された温度環境を提供する統合空冷ファンを搭載しています。これにより、露光プロセスの高精度と精度を確保し、製品の歩留まりと高品質の生産を実現します。また、操作とデータ入力が簡単に行える直感的なコンピュータインターフェースを備えています。結論として、FX 501Dは露光プロセスの正確な制御と優れた性能を提供する強力なウェーハステッパーです。その幅広い露光機能、高精度、優れた保護機能により、さまざまな生産アプリケーションに最適です。