中古 NIKON EX12 #293776343 を販売中

NIKON EX12は、半導体製造で使用される高度なフォトリソグラフィープロセス用に設計された最先端のウェーハステッパーです。1：1のプロジェクションオプティクスを搭載しており、ウェーハ上の高精度な画像処理を可能にし、シャープなディテールで正確な寸法パターンを生成します。これにより、デバイス製造やサブミクロン機能アライメントなどの半導体アプリケーションに最適です。NIKON EX 12は、歪みや収差を最小限に抑えるために2段階の縮小システムを採用し、最終的なイメージを向上させました。最新のコンピュータ数値制御（CNC）技術を採用し、スムーズで正確かつ再現性のある操作を保証します。ウェーハステッパーは、800mmフィールドレンズ投影（FLP）ユニットを使用して、80nmから20µmピッチまでのパターンを生成できます。EX12はまた、長時間の操作の間に高い安定性を備えています。高度なクローズドループサーボドライブマシンは、ステッパーの振動、熱的な歪み、および空気の乱れを低減するのに役立ちます。正確で一貫したウェーハアライメントとイメージングを実現します。ステッパーには高度なパターン認識ツールが搭載されており、高度な精度で複雑なパターンイメージングを可能にします。また、線形、可変、スパイラルスキャンなどのさまざまなスキャンモードも備えています。可変スキャンモードは、イメージングの露出を最適化するのに役立ちますので、露出時間が長いウェハでは特に便利です。ステッパーには、オペレータの介入を最小限に抑え、プロセス制御を向上させる統合測定アセットも装備されています。リアルタイムでレチクル座標を生成することができ、オペレータはその場で製品の形状を正確にチェックすることができます。EX 12には、最大2段階のアライメントをサポートし、ステージ間で半導体ウェーハを転送する機能もあります。これにより、チップの生産プロセスがより効率的になります。ウェハステッパーは、EDAソリューションを含む半導体製造プロセスで使用される複数の種類のソフトウェアをサポートしています。全体として、NIKON EX12は半導体業界で最も要求の厳しいプロセスを満たすように設計された先進的なウェーハステッパーです。優れたイメージング精度、高レベルのプロセス制御と自動化、および半導体製造プロセスを容易にするために設計されたさまざまな機能を備えています。