中古 NIKON 10897B #293665610 を販売中

NIKON 10897Bウェーハステッパーは、大型半導体ウェーハの高精度な画像を得るために設計された、高精度で大型のフィールドイメージング装置です。このシステムは高解像度のステージを使用しており、450mmのフィールドサイズで1ナノメートルの画像精度を実現しています。10897Bは、405nmガリウムベースのArF（アルゴンフッ化アルゴン）エキシマレーザーと532nm周波数トリプルNd： YAG（ネオジムドープされたイットリウムアルミニウムガーネット）レーザーを組み合わせた2波長レーザーユニットを備えています。この2波長機械は単一波長システムより薄い層をイメージすることを可能にします。NIKON 10897Bは、K1の歪みが少なく、画像平面の歪みが少ない画像にすることができます。また、NA （Numerical Aperture）が高く、レンズを通してより多くの光を集めることができ、高解像度を実現します。レンズに反射防止コーティングを施し、光の散乱や反射を防ぎ、画質を向上させます。ウェーハステッパー10897B 6軸モーションアセットで構築されており、ウェーハパターニング時の正確な位置決めを保証します。NIKON S2M Optimizerソフトウェアと統合されており、加工された機能と設計パターンの不一致を定期的に監視および補償し、高いスループットと精度を提供します。また、外部の振動を許容レベルに分離し、高精度を確保するアクティブ振動制御モデルを備えています。NIKON 10897Bは、1時間あたり最大360パターンの高速パターニングレートを備え、ウェーハステッパーの高速スループットレートを実現します。また、データフロー操作も改善され、装置は毎秒最大12メガビットの速度で他の機器に接続し、データファイルを素早く読み込むことができます。さらに、システムは、定期的にステッパーを洗浄するための補償フィルターユニットとクリーニング機能を備え、簡単に維持できるように設計されています。全体として、10897Bウェーハステッパーは、半導体ウェーハ処理用に構築された高度で精密なイメージングマシンです。大画面、2波長レーザーツール、低k1歪みと高NA、レンズ上の反射防止コーティング、6軸モーションアセットとS2M Optimizerソフトウェア、アクティブ振動制御モデル、高速パターニングレート、および改善されたデータフロー操作を提供しています。これらの機能により、ニコン10897Bウェーハステッパーは高精度とスループットを実現し、効率的で高品質なウェーハ生産を実現します。