中古 NIKON 10411025 / 10310125 #9218853 を販売中

NIKON 10411025 / 10310125は、リソグラフィープロセスの精密制御用に設計された高性能ウェーハステッパーです。高精度で再現性に優れた均一なパターンを生み出すことができる幅広い機能を備えています。装置の中心には、高倍率分解能の走査型電子顕微鏡（SEM）とパターンアライメントのための統合ビジョンシステムがあります。10411025 / 10310125は、半導体の製造において高い歩留まりと精度を持つウェーハの高度な生産のためのリソグラフィ要件を満たすように設計されています。NIKON 10411025 / 10310125は、XYとZのモーター軸を備えた12軸の複合ステージを備え、微調整アライメントと露光時間精度を実現しています。高度なステージフィードバック機能を使用することで、高い位置決め精度と再現性を実現し、ステージモーションを0.1µm内と同様に正確に制御することができます。これにより、より細かいリソグラフィ処理が可能になります。さらに、 10411025 / 10310125は多機能パターンアライメントとキャリブレーションが可能で、パターンオフセットを正確に測定することができます。これにより、ウェーハステッパーは既知のパターンエラーを補償することができます。NIKON 10411025 / 10310125には高度な形状パターン認識ユニットも搭載しており、高精度なパターン認識が可能です。また、従来のライブラリ依存ライブラリと比較して認識速度と精度を向上させるパターンのオンボードライブラリも備えています。さらに、このマシンには統合設計ソフトウェアが装備されており、リソグラフィープロセス全体で簡単に設計変更を行うことができます。10411025 / 10310125はまた露出の均等性を保障するクリプトンガスの注入の部屋を特色にします。これは、ウェーハの歩留まりを改善し、意図しない露出の可能性を減らすために行われます。最後に、NIKON 10411025 / 10310125にはハードウェアとソフトウェアインターフェイスシステムが統合され、PCベースのソフトウェアリンクが装備されており、他の機器との統合に最大限の利便性と柔軟性を提供します。10411025 / 10310125は、優れた制御と精度により半導体の製造に適した品質のウェーハステッパーです。これは、優れたデータ精度、電子顕微鏡の特徴をスキャンし、他の多くの機能の中で、統合された多機能パターンデザインを備えています。クリプトンガス注入チャンバーは、意図しない露出に対する均一性と保護を保証します。PCベースのソフトウェアインターフェイスとハードウェアリンクを内蔵したNIKON 10411025 / 10310125は、他の機器との統合に最大限の利便性と柔軟性を提供します。10411025 / 10310125の高精度性能により、歩留まりと精度の高い微次元回路の製造に最適です。