中古 MOOG MURPHY N.C E12003590 #9216911 を販売中

MOOG MURPHY N。C E12003590は、試験装置にシリコンウェーハを正確に配置するように設計されたウェーハステッパーです。MOOGステッパーは、各ウェーハの正確で反復可能な位置決めを可能にするユニークなデザインを備えています。ステッパーは、2つのダイレクトドライブステッピングモーター軸を備えた大きなプライマリステージを備えており、X軸とY軸の両方で正確な位置決めを可能にします。一次段階は、機械的干渉を排除し、滑らかで正確な動きを提供するエアアイソレータに取り付けられています。また、主要ステージには高解像度のステッピングフィードバックシステムが搭載されており、オンボードコンピュータに正確な位置フィードバックを提供します。ステッパーは、2つの主軸、X軸とY軸のそれぞれのための2つの二次段階のセットを持っています。これらの二次ステージはサーボ駆動で、高解像度コントローラを備えており、正確な位置調整が可能です。二次段はまた、軸の動きを微調整するための角速度サーボを備えています。ステッパーは、過電圧、低電圧、過熱、過電流に対する保護など、さまざまな安全機能を備えています。さらに、ステッパーは自動レチクルセンタリングシステムを備えており、ウェーハを自動的に試験装置に集中させ、迅速かつ再現性のある位置決めを可能にします。オンボードコンピュータには、操作を制御するために事前にプログラムされたルーチンのライブラリがあり、手動と自動の両方の操作を可能にします。ステッパー制御ソフトウェアは、ステッパーの操作を簡素化する高度に構成可能でユーザーフレンドリーなインターフェイスでもあります。E12003590は、さまざまなウェーハ試験アプリケーションに適した信頼性の高い正確なウェーハステッパーです。最高品質のコンポーネントで構築されており、正確で繰り返し可能なウェーハの位置決めに最適な幅広い機能を備えています。そのモジュラー設計はまた維持し、改善することを容易にさせ、いろいろな適用のための理想的な選択をします。