中古 MIDAS MDE-20000 #9215486 を販売中

MIDAS MDE-20000は、フォトリソグラフィで使用されるウェハステッパーで、さまざまな3D形状や構造を基板上にイメージします。デバイスは2つの異なるコンポーネントで構成されています。プロジェクションユニットとウェーハステージは、ウルトラバイオレット（UV）フォトリソグラフィを使用して基板上の形状を定義します。投影ユニットMDE-20000、最大5ミクロン（5,000nm）の精度で0。25ミクロン（250nm）の分解能で構造を定義することができます。プロジェクションユニットには、スキャン用光学装置とレーザーソースが搭載されており、目的の形状パターンをウェハに投影するために使用されます。プロジェクションユニットの光学系は、イメージング領域全体にわたって0。1％以上の強度の均一性を提供するように設計されており、最大直径20mmまでの露出フィールドを投影するために使用することができます。MIDAS MDE-20000のウェーハステージは、投影ユニットの下にウェーハまたは基板を移動させることができます。ウェーハは2次元モータ駆動ステージに固定され、X軸とY軸の両方に沿って移動するように調整することができます。ウェーハステージにはクローズドループのモーター制御システムも含まれており、ウェーハが常に正しい位置にあることを確認するために使用されます。ウェハステージの位置は、最大0。5ミクロン（500nm）の精度で測定できます。MDE-20000はまた、ユーザーとデバイスの両方を損傷する可能性のある放射線から保護するための包括的な安全機能を備えています。これらの機能には、ユニットの温度と光強度を監視してユーザーの安全を確保する一連のセンサーと、安全シャッターと緊急電源遮断機が含まれます。MIDAS MDE-20000は、さまざまなフォトリソグラフィーアプリケーションに適した強力で信頼性の高いウェーハステッパーです。イメージングの解像度、精度、安全性を兼ね備えたMDE-20000は、高精度イメージングニーズに最適なソリューションです。