中古 KONICA MINOLTA Range 5 #9256713 を販売中

KONICA MINOLTA Range 5は、フォトマスク加工、ウェハ加工、研究開発などの高度なリソグラフィープロセス用に設計された高解像度ウェハステッパー装置です。このシステムは、さまざまなプロセスに対応する柔軟性を維持しながら、クラス最高のパフォーマンスを提供するように設計されています。このユニットは、VUV Metrology-ON Detector Ex UV Beam Sourceを使用して、視野に一様な虹のようなガウス強度プロファイルを投影します。投影された画像は非常に安定しており、機械内のウェーハの正確な位置決めが可能です。このツールは、10nmの最小線幅で、高解像度のリソグラフィを誇っています。また、球面収差を補うことで焦点深度を490nmに向上させ、細部の正確な再現を可能にしました。このアセットはまた、広い被写界深度を備えており、ウェーハの任意の方向に最大6mmの移動を可能にします。また、自動化されたアライメント装置を搭載し、セットアップ時間を迅速かつ簡単にすることができます。このシステムは、市場の他のどのユニットでも一致することができない正確さと一貫性のために設計されています。Range 5 Wafer Stepperは、高度なフォトリソグラフィープロセスに最適で、ウェハの製造、フォトマスクの製造、およびその他の研究開発活動に最適なツールです。