中古 KOMATSU G20K2-1 #9095924 を販売中

KOMATSU G20K2-1は、高性能ウェーハステッパーであり、画像転送プロセスにおいて高い精度でフォトマスクを正確に位置決めおよび整合させるように設計されています。この堅牢で統合されたウェーハステッパーは、フィールドプログラマブルロジックデバイス（FPLD）とマルチサンプルクロスヘアカメラを使用して、フォトマスクを正確に見つけ、フォトマスクのサンプル領域に参照される正確なクロスヘアを作成します。FPLDとモーションユニットとコントロールユニットを組み合わせることで、KOMATSU G 20 K 2-1はフォトマスクを正確に配置できます。このユニットは、X軸とY軸のウェーハの位置を測定し、動的制御のための連続データを生成します。高度な照明焼入れ回路を備えた環境眼鏡ビームセンサーは、正確な測定のためのデータをキャプチャします。G20K2-1は、フォトマスクの正確なマイクロアライメントを容易にするために、2つのマイクロメーターを備えています。マイクロメーターは0。1mmごとにフォトマスクとウェーハの距離を測定し、データは制御装置とウェーハステッパーに送信され、フォトマスクの位置と配置を調整します。モータ駆動モーターは、マイクロメートルを駆動するために使用されます。G 20 K 2-1にはオートフォーカスシステムとレーザーアライメントデバイスも装備されています。オートフォーカスユニットは、フォトマスクの焦点距離に関するデータをキャプチャするためにCCDカメラを採用しています。このデータは、フォトマスクとウェーハの距離を調整して正確な焦点を確保するために使用できます。レーザーアライメントデバイスは、ビームセンサーを使用して、ウェーハの端からフォトマスク上のクロスヘア画像を分析します。このデータは、露出プロセスが始まる前にフォトマスクの位置を修正するために使用されます。コマツG20K2-1は、フォトマスクの位置と位置合わせの精度をさらに向上させるために、クロスヘア画像のスポット欠陥を排除する高度な解析と補正アルゴリズムを使用しています。さらに、FPLDは異なる露出パラメータに対応するようにプログラムすることができます。KOMATSU G 20 K 2-1には、統合診断およびモニタリングマシンも装備されています。このツールは、マシンのパフォーマンスを監視し、改善のための提案を行います。さらに、FPLDおよびモーションコントロールユニットからのすべてのデータおよびパラメータを中央ステーションに転送することができ、資産全体をリモートで制御および監視できます。全体として、G20K2-1は高度で堅牢なウェーハステッパーで、画像転送プロセスに優れた性能と精度を提供するように設計されています。その高度な機能と技術により、すべてのフォトマスク露出のための最も正確な結果を保証します。